进入洁净车间前之注意事项:任何人进入洁净车间工作或参观,须依规定换穿无尘衣。非经洁净主管许可不得将私人物品(手提袋、书籍等)及非洁净车间所使用之 工具携入洁净车间;维修用之手册及工具在用毕后应立即收起。原物料进洁净车间时,需先在外面拆箱及拭净,并置于货物风淋室携入洁净车间。洁净室、办公区均为禁烟区,若有吸烟,须于抽后并嗽口后,方可进入洁净车间。在洁净车间内,不得饮食、嘻闹,或从事其它与生产无关的事情。进入洁净车间者应保持身体洁净,头发应常梳洗,并禁止使用香水及化妆品。进入洁净车间不得穿着短裤及步鞋、袜子。净化车间即使是无净化度要求的由室外进人净化区的过渡区仍有较高的装修标准和温度、湿度的要求。无尘车间净化工程施工业务咨询

净化工程施工方案应该注意哪些方面:净化工程施工方案中,风量回风次数采用风量调节阀对不同要求洁净级别的区域进行控制,以及压强梯度的调节,保证气流同“清洁”区域流向“污染”区域,净化车间不同级别之间压差为≥5pa,净化车间与室外压差为≥10pa。净化工程施工方案中应有紫处灯杀菌装置。净化工程施工方案的传递窗为全不锈钢材质,机械联锁控制,内带灭菌装置。净化工程施工方案的排风口应装有高效过滤器,送风口装有高效过滤静压箱,以实现进气洁净,另外更换高效过滤器比较方便。上海微电子净化工程施工净化工程在空气过滤方式、送风量、气压、人员与物品进出管理等方面都有着严格处理方案。

净化工程施工方案应该注意哪些方面:净化工程施工方案在布置上应紧凑、合理,满足生产环境和空气洁净度等级要求,同时力求科学性与经济性的原则,考虑净化车间要求和发展及运行费用极优。净化工程施工方案中洁净室入口处设置风淋室,能有效去除人体所带灰尘,减少洁净室的灰尘量,同时风淋室也起到了气闸的作用,防止不洁净空气由门进入洁净区。净化工程施工方案应考虑到给净化车间室内供给一定比例的新鲜空气,净化过滤后进入各洁净室以补偿排风,保证正压及工作人员需要。
随着空气洁净度要求的提高,净化工程施工工艺对温湿度的要求也越来越高,达到定的温湿度等。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以有±0.1度的恒温,同时要求湿度值般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。净化车间的净化度主要是靠送入足够量的净化空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。

洁净车间的气流组织,净化车间的气流组织不同于一般的空调房间,要求首先将干净的空气输送到操作现场。 它的作用是限制和减少对加工产品的污染。 因此,在设计气流组织时应考虑以下原则:尽量减少涡流,避免将工作区以外的污染带入工作区;尽量防止灰尘的二次飞扬以减少灰尘对工件的污染机会;工作区的气流要尽量均匀,且其风速要满足工艺和卫生要求,当气流向回风口流动时要使空气中的灰尘能有效的带走;根据不同的洁净度要求,选择不同的送、回风方式。送风量或风速,充分通风是为了稀释和消除室内污染空气。 根据不同的清洁要求,当净化车间高度较高时,适当增加通风量。 其中,百万级净化车间的通风量是根据高或中效净化系统来考虑的,其余的要根据高效净化系统集中布置在机房或系统末端,可适当增加通风频率10-20%。净化工程车间的进出要求:门要求密闭,人、物进出口处装有气闸。上海微电子净化工程施工
净化车间采用淋水式空气处理方式,使其既对空气洗尘又使其产生热温交换达到所要求的温、湿度。无尘车间净化工程施工业务咨询
车间净化工程的关键部位环节主要有:依据气候条件选空调箱:关于空调箱的选择,应考虑所处的气候环境。如在冬季气温低、空气含尘量大的北方地区,则应在通用的空调机组上增设新风预热段,采用淋水式空气处理方式,使其既对空气洗尘又使其产生热温交换达到所要求的温、湿度。而在气候湿润,空气含尘浓度较低的南方地区,则冬季也无需对新风预热,对空气的过滤及温、湿度的调节则采用初效过滤,表冷面调节温湿度,也可加强温减湿工序,再经中效过滤和终端高效或亚高效过滤。空调箱配套风机尽量采用变频风机,这不仅节能,还可灵活调节风量风压。无尘车间净化工程施工业务咨询
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