TOYO 电动缸型号表示方式
以CSG25为例:CSG25-L8-50-B-TC100-03-N1-WR-A001
CSG25:指的是本体型号
L8:指的是丝杆的导程(导程会影响电动缸的运行速度以及可承受的负载,一般有多个导程可选,具体参考TOYO电动缸型录)。
50:指的是有效行程。
B:指的是是否刹车(垂直使用时需追加内置式刹车器),若无刹车则不表示。
TC100:指的是对应的驱动器。标配是TC100,如果需要EtherCAT控制,则选TC100E。
03:指的是控制线的长度,可选高柔线。
N1:指的是IO线,标配是1.5m
WR:指的是接头型式,有多种接头方式可选。
A001:指的是特注码,如果有非标的内容则会有改代码。 TOYO机器人,稳定高效,助力企业实现可持续发展。东佑达TOYO机器人大理石平台

TOYO直线电机的特点介绍:①高负载:采用高密度线圈的设计,若选配双轴同步驱动,推力合计可达2倍,适用于大体积物体高速搬运等。推荐规格:LTF2/LNF2/LCF2系列。②超高精度:因采用直接驱动,免去了许多额外转换机构造成的背隙及累计误差。适合IT设备的精密组装及检测设备的传动定位。标配用的是1μ的光学尺,精度可达±2μ,可选配0.5μ/0.1μ的光学尺,精度可达±1.5μ/±1μ。③长行程:直线电机可根据使用方式行程可达8000mm,并可根据客户需求加大行程。④高加减速及高速度。直线电机系列TOYO机器人高速模组TOYO模组产品种类丰富,交期好。

在半导体行业,直线电机因其高精度、高速度、高加速度和长行程等特点,被广泛应用于多个制造和加工环节。以下是一些具体的应用场景:
晶圆制造:①晶圆切割:直线电机用于晶圆切割机的精确控制,确保晶圆切割的精度和效率。②晶圆清洗:在晶圆清洗设备中,直线电机用于控制清洗头的运动,以实现均匀清洗。
光刻:①光刻机:直线电机用于光刻机的曝光系统,精确控制掩模对晶圆的定位和曝光,以实现微米级甚至纳米级的图案转移。
硅片加工:①蚀刻机:直线电机用于蚀刻机的硅片传输和定位,确保蚀刻过程的高精度。②离子注入:在离子注入机中,直线电机用于精确控制离子束对晶圆的注入角度和位置。
芯片封装:①芯片贴装:直线电机用于芯片贴装机,精确地将芯片放置到引线框架或基板上。②打线机:在打线机中,直线电机用于精确控制打线头,将金线或铜线连接到芯片的焊盘上。
直线电机是一种将电能直接转换为直线运动机械能的电机,而不需要通过齿轮、皮带等传动机构转换。它的基本原理与传统的旋转电机相似,但运动形式不同,可以简单的把直线电机看成将旋转电机劈开并展开。以下是直线电机的主要原理介绍:1、结构组成直线电机主要由以下几个部分组成:初级线圈:产生磁场,通常固定不动。次级线圈(或磁轨):产生感应电流或与初级线圈相互作用,通常安装在运动部件上。导轨:用于支撑和导向运动部件。2、工作原理直线电机的工作原理基于电磁感应定律和洛伦兹力定律:电磁感应:当初级线圈通以交流电时,会在周围空间产生变化的磁场。洛伦兹力:这个变化的磁场会在次级线圈(或磁轨)中产生感应电流,进而产生与初级线圈磁场相互作用的力,这个力使得次级线圈沿着导轨做直线运动。智能化的TOYO机器人,开启工业自动化新篇章。

直线电机的应用
检测与测试:①自动检测设备:直线电机用于自动检测设备中的晶圆或芯片搬运和定位,以进行视觉检测或电气测试。②测试探针台:在测试探针台中,直线电机用于精确控制探针的位置,对芯片进行功能和性能测试。
物料搬运:①晶圆搬运:直线电机用于晶圆搬运机器人,实现晶圆在各个工艺步骤之间的快速、精确搬运。②自动化仓储:在半导体材料的自动化仓储系统中,直线电机用于物料的快速存取。
精密加工:①微细加工:直线电机用于半导体设备的微细加工过程,如钻孔、研磨等,实现高精度的加工。
直线电机在半导体行业的应用,不仅提高了生产效率和产品良率,还降低了制造成本,提升了半导体制造过程的自动化和智能化水平。随着半导体工艺的不断进步,直线电机的应用将更加重要。 TOYO机器人,准确高效,应用于工业制造,提升生产效率。多轴模组系列TOYO机器人轨道内嵌推杆式模组
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TOYO直线电机的特点:⑤特殊散热机构,动子散热效率佳。将自行开发的特殊散热机构包裹在线圈外侧,让动子在运行过程中可以快递的散热,增加动子的效率。⑥结构磨损小,可长时间维持精度。一般滑台由丝杆及皮带进行驱动,丝杆长时间使用,有磨损情形;而皮带模组,每年固定时间需把皮带拉紧,以维持精度。直线电机无驱动件磨耗,长时间对整台机台的系统精度可维持水准。⑦(以LGW有效行程1000mm时)直线度±0.02mm/m,平面度±0.002mm/m。⑧长行程/高精度/高速度/低噪音可同时满足。⑨速度稳定性佳:以500mm/s的速度移动时,速度波动性LGF可以控制在0.8%以下、LAU可以控制在0.4%以下、LMR可以控制在0.5%以下,适合用在检测设备上的视觉系统的取向移动装置。⑨长寿命/低噪音/保养简单。东佑达TOYO机器人大理石平台