TOYO奈米级空气轴承平台分为
空气轴承单轴平台:
应用场景:半导体/高速移载取放料。有效行程400mm,加速度10G,重复精度<1μm
空气轴承龙门双驱平台:
应用场景:PCB印刷电路板/DI曝光机。有效行程350mm×1200mm,速度1000mm/s,重复精度<1μm。YAW<3arc-sec,速度波动200mm/s<0.2%
空气轴承XYZ平台:
应用场景:半导体产业/微钻孔精密加工。有效行程200×200×150mm,平面度<5μm,重复精度<1μm。
空气轴承XYZθ平台:
应用场景:半导体/光罩检查机。有效行程500×500mm,平面度<5μm,VC-C抑震等级 TOYO机器人,精确执行任务,提高生产效率和质量。丝杆TOYO机器人无尘模组

TOYO机器人的应用领域极为广,涵盖了半导体、光伏、电子、机械制造等众多关键行业,并且在每个行业中都展现出独特的创新应用实践,为行业的发展注入了强大的活力。在半导体行业,芯片制造是一个高度复杂和精密的过程,对生产设备的精度、稳定性和自动化程度要求极高。TOYO机器人在芯片制造的多个环节发挥着不可或缺的作用。在晶圆传输环节,TOYO机器人的高精度定位和轻柔抓取能力确保了晶圆在不同工艺设备之间的安全、准确传输。其机械臂采用了特殊的材料和结构设计,能够在高速运动的同时保持极低的振动,避免对晶圆造成任何微小的损伤。在芯片封装测试阶段,TOYO机器人可以精确地将芯片放置在封装模具中,并完成复杂的测试探针操作。通过与先进的测试设备和软件系统集成,它能够实现对芯片性能的快速、准确测试,及时筛选出不丝杆TOYO机器人集中注油TOYO直线电机精度可达±1μ/mm,模组精度可达±3μ/mm。

TOYO-GL系列新产品介绍GL系列包括:丝杆模组GLTH、皮带模组GLTB,同时有GL无尘系列模组对应。各款模组可兼容市面上绝大多数伺服电机品牌,也支持非标定制。GL系列模组为轨道内嵌式模组,本体两侧内嵌铁芯滑轨嵌入本体后研磨加工,降低了体积,对比含导轨的模组,GL系列模组的力矩大幅提升。由于模组本体的高度降低,本体的重量也随之减轻。联轴器/转折环带标配可视窗口,便于观察联轴器/环带损坏情况,节省人员拆盖检修时间。不论是单轴还是XYZ组合型模组,均可降低设备总高度,实现机构小型化,客户端厂房空间使用更宽裕。
气浮平台的优势:真正的零摩擦运动:这是其突破性的优点。由于运动部件与固定部件被气膜完全隔开,实现了无摩擦、无磨损的运动。这带来了良好运动平滑性,消除了传统导轨因摩擦力引起的“粘滑”现象、发热和磨损。极高的运动精度与分辨率:结合高精度的光栅尺反馈系统和直线电机驱动,气浮平台能够实现纳米级的定位精度和重复定位精度,以及极高的运动直线度。这是实现超精密加工和测量的关键。隔振能力:气膜本身就是一个高效的隔振器,能有效隔离来自地面和机架的高频振动,为上的精密操作(如光刻、显微检测)提供一个极其稳定的环境。无磨损、长寿命:因无接触运动,理论上不会产生磨损,其寿命主要取决于气浮轴承的设计和材料,通常也非常长。TOYO机器人,为工业自动化注入新活力。

TOYO直线电机型号说明
以型号LFT2-RHS2-N-4688-LS10-R-N-05H-LC100-A001为例,
其各部分含义如下:LFT2:电机本体型号。RHS2:本体固定方式及线缆槽出线方向(具体配置请参考TOYO直线电机型录;通常线缆槽需用户自配)。N:动子数量(N:单动子;D:双动子)。4688:动子的有效行程(单位:mm)。注意:不同型号动子的有效行程不同。LS10:编码器类型(标配为1μm分辨率的光学尺或磁性尺TS10)。R:原点(Home)位置(L:左侧;R:右侧)。N:内置传感器数量。05H:驱动器连接线缆长度(05:线缆长度代码;H:霍尔传感器线缆标识)。LC100:驱动器接口/兼容型号(可适配高创、三菱、松下、台达等品牌驱动器)。A001:特殊定制代码。 TOYO机器人,性能优越,为企业创造更大价值。新能源行业TOYO机器人千级无尘
TOYO机器人,准确高效,应用于工业制造,提升生产效率。丝杆TOYO机器人无尘模组
伺服电动缸是一种将伺服电机的旋转运动转换为线性运动的装置,它通常由伺服电机、丝杠、缸体和位置反馈装置等组成。伺服电动缸的优势:1.精确控制:伺服电动缸可以提供非常精确的位移、速度和力控制,适用于需要高精度操作的应用。2.重复定位精度高:由于采用了闭环控制,伺服电动缸能够实现高重复定位精度。3.可编程性:伺服电动缸可以通过编程来控制其运动,使其适应各种复杂的运动轨迹和速度要求。4.响应速度快:伺服电动缸的响应时间短,能够快速启动、停止和改变方向,适合高速操作。5.安装灵活:伺服电动缸的安装方式多样,可以水平、垂直或倾斜安装,适应不同的应用场景。6.节省空间:相比于液压或气动系统,伺服电动缸的体积更小,节省安装空间。7.低维护:伺服电动缸没有液压系统中的油液和气动系统中的压缩空气,因此维护需求较低。8.环境友好:伺服电动缸不使用油液,不会产生泄漏,对环境无污染。9.适用范围广:伺服电动缸可以在各种环境条件下工作,不受温度、湿度等外界因素的影响。10.安全性:伺服电动缸没有高压油液或压缩空气,因此在操作过程中更为安全。11.力输出稳定:伺服电动缸可以提供稳定的推力和拉力,适用于需要恒力输出的应用。丝杆TOYO机器人无尘模组