真空计是一种用于测量真空度或低于大气压的稀薄气体的气压的仪器。以下是真空计的主要特点:
1.多种测量原理真空计有多种测量原理,如电容式、电离式、热传导式等。不同的测量原理具有不同的特点和适用范围,用户可以根据具体需求选择合适的真空计。
2.易维护一些真空计的设计使得其易于维护和校准。例如,有些真空计的传感器可以更换,这使得在传感器损坏或老化时能够方便地更换新的传感器,从而延长真空计的使用寿命。
3.小型化和集成化随着科技的发展,真空计正朝着小型化和集成化的方向发展。小型化的真空计更加便于携带和安装,而集成化的真空计则能够与其他设备或系统进行集成,实现更加智能化的监测和控制。然而,真空计也存在一些局限性,如某些类型的真空计易被污染、测量范围相对较窄等。因此,在选择和使用真空计时,需要综合考虑其优缺点以及具体的应用需求。
综上所述,真空计具有高精度、使用方便、稳定性能良好、测量范围广、多种测量原理、易维护以及小型化和集成化等特点。这些特点使得真空计在各个领域都有广泛的应用前景和发展潜力。 皮拉尼真空计是一种用于测量真空压力的仪器。高纯度真空计设备供应商

如何选择真空计?考虑测量范围与精度:不同的真空计有不同的测量范围,需要根据实际需求选择。例如,热阴极电离真空计适用于高真空环境(10-11 mbar),而热阻式真空计则适用于气压在10-9 mbar范围内的测量。精度是选择真空计时需要考虑的另一个重要因素。需要根据物体不同的尺寸、物理量等来选择精度要求更高的真空计。考虑被测气体与环境:部分真空计对被测气体有要求。例如,热阴极电离真空计的阴极易受过量空气及泵油蒸气等污染物的损害,因此需要考虑被测气体是否会对真空计造成损伤。部分真空计会影响被测环境。例如,压缩式真空计在测量时要压缩被测气体,这可能会使水蒸气凝结,从而影响被测真空环境。广东真空计生产企业真空计使用过程中常见的问题有哪些?

皮拉尼真空计
较大的测量范围:能够测量从低真空到高真空的范围。较好的重现性:在相同条件下,多次测量结果的一致性较好。制作成本较低:相对于其他类型的真空计,皮拉尼真空计的制作成本较低。价格合适:适合各种预算和应用场景。较快的响应时间:能够响应真空压力的变化。缺点:不同的气体类型会影响测量精度:由于不同气体的热导率不同,因此在使用皮拉尼真空计时需要针对特定气体进行校准。对污染敏感:污染可能导致测量精度下降,因此在使用时需要保持测量环境的清洁。
辰仪MEMS皮拉尼真空计是完全对标MKS925和MKS901P真空计而开发的MEMS皮拉尼真空计,是采用MEMS芯片及数字化软件控制技术开发的皮拉尼真空计。该真空计可用于半导体、光伏、等离子等对初中真空测量高精度要求的行业,填补了MKS对国内断供造成的影响。
辰仪MEMS皮拉尼真空计是完全对标MKS925和MKS901P真空计而开发的MEMS皮拉尼真空计,是采用MEMS芯片及数字化软件控制技术开发的皮拉尼真空计。该真空计可用于半导体、光伏、等离子等对初中真空测量高精度要求的行业,填补了MKS对国内断供造成的影响。 真空计的适用压力范围是?

真空计的历史沿革1946年:,是一种***型高真空真空计。。1948年:,是典型的一类气体组分与分压强测量的真空计。1949年:、、,也是测量气体组分及分压强的一类重要的真空计。1950年:(又称热阴极超高真空电离真空计),解决了超高真空测量问题,推动了超高真空技术的发展。1951年:、、,是一种与气体种类无关的***型真空计。1953年:、,此类真空计**小可检测分压强达10^-14Pa。1957年:德国人、高压强电离真空计,尽量利用离子流的较好的线性等优点来代替热传导规的不足。1959年:,制造工艺过于复杂难以推广应用。1960年以来:相继研制成功的调制规、抑制规、弯注规、分离规和磁控式电离规等已能实现10^-11Pa左右的超高真空测量。七十年代后的二三十年:真空测量技术领域在新原理方面没有出现明显突破性的进展,较多的是在基本清晰的原理思路上的改进与补充,处于一个相对稳定的时期。 电容真空计在哪些领域有应用?苏州高质量真空计设备厂家
如何维护和保养电容真空计?高纯度真空计设备供应商
电容薄膜真空计
测量原理:根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成。把加于电容薄膜上的压力变化转化为膜片间距离的变化,即电容的变化,再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化,组成为输出信号。因此,其测量直接反映了真空压力的变化值,而且只与压力有关,与气体成分无关。特点:直接测量式的、全压型的真空计,可作为低真空测量(0.01~100Pa)工作副标准的一种真空仪器。材料选择:感压膜片是电容薄膜真空计的中心部件,宜选用Inconel600或3J53作为感压膜片材料,陶瓷膜片则更适用于被测压力较大的场合。同时,为保证薄膜的平整度及承载能力,增加其稳定性,往往使薄膜先受均匀的张力,然后再在边缘加以固定。 高纯度真空计设备供应商
真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控:电容规测腔体压力(1~10⁻² Pa),电离规监控等离子体区(10⁻²~10⁻⁵ Pa)。ALD设备要求真空计耐腐蚀(如Al₂O₃镀膜用氟化钇涂层电离规)。数据采样率需>10 Hz以匹配工艺控制节奏。14. 真空计的寿命与维护热阴极规寿命约1~2万小时(灯丝断裂);冷阴极规可达10万小时。维护包括:① 定期烘烤除气(200℃/24h);② 避免油蒸气污染;③ 检查电缆绝缘(高阻抗易受干扰)。故障模式中,灯丝开路占70%,陶瓷绝缘劣化占20%。皮拉尼真空计是一种用于测量真空压力的仪器。河南真空计原厂家皮拉尼真空计,又有翻译为“派蓝尼真空计”,属于热...