冷阴极真空计（ColdCathodeGauge，如潘宁计）原理：基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极，外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子，电子在磁场中螺旋运动，增加与气体分子的碰撞概率，导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。特点：量程：通常为10−6Torr至10−3Torr，适合中高真空。优点：无加热元件，结构简单、寿命长。对振动不敏感（适合航天等恶劣环境）。局限性：低真空下响应慢（需足够残余气体维持放电）。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高（需校准）热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低（可忽略）冷阴极计（潘宁）高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。 为改善真空计性能及提高真空测量准确度，必须突出主要现象。表1给出一些真空计的压力测量范围。内置泵吸式真空计专卖店
真空计是用于测量真空度的设备，其工作原理及测量范围对于了解真空技术至关重要。在真空镀膜机的腔体内，真空测量是指利用专门的仪器和装置来测定某一封闭空间内的真空度。这些仪器或装置被称为真空计（或规管），种类繁多，常见的分类方式是根据其测量原理。直接通过测定物理参数来获取气体压强的真空计被称为***真空计，例如U型压力计和压缩式真空计。***真空计测量气体压强较为准确，不受气体成分影响。而相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比来得出压强值，例如放电真空计、热传导真空计和电离真空计。相对真空计的测量准确度略逊于***真空计，且测量结果与气体种类相关。在实际生产中，除了真空校准外，相对真空计的应用更为***。 便携式四合一真空计试用掌握常见的真空计种类有利于正确选择真空计类型。
普通型热阴极真空计的测量范围限定在1.33×10-1至1.33×105Pa之间。在高压强环境下，电子与气体分子的频繁碰撞导致电子流急剧增加，而低能碰撞则无法引发电离，进而影响离子流与压强之间的线性关系。另一方面，在极低的压强条件下（低于1.33×10-1Pa），高速电子产生的软X射线会引发离子收集极C的光电发射，从而引入与压强无关的电流，破坏离子流I+与气体压强之间的线性关系，使电离真空计无法准确测量真空室中的压强。选择合适的真空计是关键。
这些真空泵按工作原理大致可以分为两类。一类是真空计将气体不断吸入并排出体外的泵，例如机械泵、涡轮分子泵；一类是将气体分子吸附在内壁上的泵，例如钛升华泵、低温吸附泵、吸氢气泵。不管工作原理如何，这些泵的**终目的都是减少腔体内的气体分子数。由于不同泵的构造不同，每种泵都有自己的工作区间，只有在一定的压强范围内才可以正常工作，否则就会损坏。不同泵的工作压强区间如下图所示。从上图我们可以看出，要达到超高真空，只用一种泵是无法实现的，需要不同种类的泵接力，像极了我们做科研的过程，不是吗？团队合作。在实验室，我们先用机械泵抽到粗真空，再打开分子泵抽到高真空，**后用离子泵或者钛升华泵抽到实验所需的真空状态。 使用真空计中若需调校零点，必须要有较高真空度的真空源。
真空压力计是一种用于测量真空度或真空压力的仪器，广泛应用于各个工业领域和科研环境中。以下是对真空压力计的详细介绍：一、定义与原理真空压力计通过测量***压力与大气压力之差来确定真空度。在真空状态下，***压力低于大气压，因此真空压力计测量的实际上是这种压力差，通常以负值表示。其工作原理可能涉及多种物理现象，如热传导、电离、机械变形等，具体取决于真空压力计的类型。薄膜真空计：利用薄膜在真空压力作用下的变形来测量真空度，如电容式薄膜真空计。U型管真空计：使用历史**长、结构**简单的测量压力的仪器，通过U型管两端的液面差来指示真空度。数字式真空压力计：能够直接读取数字显示的压力值，操作便捷，且具有高精度和稳定性复合真空计附有一个热偶规管、一个电离规管，分别接在真空系统上。内置泵吸式真空计专卖店
真空计的种类有很多，适用范围也各有不同。内置泵吸式真空计专卖店
那么仔细想想，当我们喝牛奶的时候，喝口服液的时候，瓶子里的低气压状态是不是都可以称作“真空计”呢？更简单一点，用手堵住针管的一段，拉动活塞，针管里面就是真空状态。不可思议？没关系，我们先来看看真空发现的历史。小课堂早在1643年，意大利物理学家托里拆利（Torricelli）就做了一个***的大气压实验——托里拆利实验。他在一段封闭的玻璃管中装满**（Hg），然后将玻璃管倒扣在盛有**的小槽中，玻璃管中的**在重力作用下会下降，他发现，当**柱高度下降到760mm时就不再下降，托里拆利认为玻璃管上端的空隙就是“真空”状态。同时这个实验也得出结论，一个标准大气压强约为760mm汞柱。内置泵吸式真空计专卖店
