在现代设计制造中,把面对不同排气条件的微型真空泵区别对待。“排气口允许较大阻力Por值”这一参数就是标定泵的排气能力,让我们可以用严格的技术手段确定选型是否恰当。简单地说,对于排气阻力大的系统,我们的选型范围是:FM系列、FAA系列、PCF系列;对于排气阻力小的系统,选型范围是:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。根据我们对流量和真空度的要求就可以确定具体的型号了。对于质量欠佳的产品尽量不要选用。往复真空泵活塞从右端向左端运动,此时吸气阀关闭。液环真空泵规格
罗茨真空泵转子由0°转到180°的抽气,在0°位置时,下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时,该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高,引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时,下转子封入的气体,连同返冲的气体一起排向泵外。这时,上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时,上转子封入的气体与排气口相通,重复上述过程。180°位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。液环真空泵规格罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵。
当真空泵中的叶轮顺时针方向旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外。
罗茨真空泵由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。目前,这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。在真空泵中,相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强,表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。
抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。一般单位用L/S和m³/h来表示。是弥补漏气率的参数。不难理解,理论下抽一个相同体积的容器,为什么抽气量大的真空泵很容易抽到我们所需的真空度,而抽气量小的真空泵很慢甚至无法抽到我们想要的真空度? 因为管路或者容器始终不可能做到不漏气,而抽气量大的弥补了漏气所带来的真空度下降的因素,所以,大气量的很容易抽到理想真空度值。这里建议,在计算出理论抽气量的情况下,我们尽量选择高一级的抽气量的真空泵。水环真空泵是一种粗真空泵。手动真空泵供货费用
真空泵的传动方式,真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。液环真空泵规格
环境对真空泵的影响,主要是指被抽气体对体系的污染,在钢液处置过程中,钢液会放出很多的气体,同时也会有一部分细微的氧化粉皮等小颗粒被吸入真空泵,这些小颗粒会堆积粘附在泵体上,减小了抽气管路流导,延长了抽气时间,下降了泵的抽气功能。泵体布局的影响:关于单级真空泵,简单磨损的部位是蒸汽的喷嘴,喷嘴被磨损后,不只会影响泵的功能,还会增加体系的运转本钱。所以真空泵在使用时要非常注意周围环境和蒸汽喷嘴的影响。液环真空泵规格