中山智能MEMS产品设计研发型企业

宁波启朴芯微系统技术有限公司（以下简称“启朴芯微”）是一家专注于微机电系统（MEMS）技术研发与产业化的****，成立于西北工业大学宁波研究院的孵化体系中，并在短时间内凭借技术创新与产业化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件设计、工艺开发及代工服务，拥有自主可控的8英寸MEMS工艺产线，兼容6/4英寸晶圆级加工，覆盖光刻、深硅刻蚀、薄膜沉积、晶圆键合、激光切割等**工艺能力，为行业提供从结构设计到封装测试的全链条服务36。其技术团队在MEMS领域经验丰富，尤其在光学类与SOI（绝缘体上硅）特色工艺方面具备***优势，例如通过原子层沉积（ALD）技术实现高精度薄膜制备，提升器件性能与可靠性。宁波启朴芯微系统技术有限公司成立于2022年9月，专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案。中山智能MEMS产品设计研发型企业

宁波启朴芯微系统技术有限公司成立于2022年9月，是一家专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案的科技研发型企业，自主可控国内首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，具备光刻、深硅刻蚀、键合、PVD、ALD、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、CMP、激光隐形切割、SEM、FIB等加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。作为一个兼具产品开发能力和技术加工能力的科技型企业，本着“斫雕为朴，芯程再启”的企业宗旨，启朴芯微将展示在MEMS产品设计、晶圆加工、工艺检验等不同环节的技术服务能力，包括但不限于既往的光刻、深硅刻蚀、键合、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、激光隐形切割、光谱椭偏测试、傅里叶红外光谱测试、探针台阶测试等服务方案和应用成果。安徽高精度MEMS产品设计技术优势公司持续构建具有凝聚力、自驱力的智能传感领域工程师队伍。

宁波启朴芯微的8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线，是科技与创新的完美结合。实验区内，先进的设备在有序运转，激光隐切机精细地切割着材料，光刻机如同一位技艺精湛的“雕刻师”，在晶圆上刻画出精细的图案。深硅刻蚀机则以微米级的精度，雕刻出复杂的结构。电子束蒸镀仪、键合机、湿法腐蚀系统等设备相互配合，共同完成了从原材料到成品的转变。加工区域的**研发室里，科研人员们日夜钻研，不断探索新的技术和方法。光学实验室中，他们利用先进的光学设备，对产品进行严格的检测和分析。百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，为产品的质量提供了可靠的保障。这条产线不仅服务了众多高校、科研院所和科创企业，还推动了整个行业的发展。

宁波启朴芯微自主可控国内首条8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线，实验区内设置有激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机、电子束蒸镀仪、键合机、湿法腐蚀系统、磁控溅射仪、原子层沉积设备、化学机械抛光机、自动涂胶显影系统等整套技术设备，加工区域1000余平方米，具备**研发室、光学实验室，配套百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室，可以***支持8英寸（兼容4/6英寸）晶圆级MEMS技术研发和加工制造，自建立以来已服务200余家高校、科研院所和科创企业，并先后成功获批浙江省MEMS传感芯片定制加工服务型示范平台、宁波市重点实验室、浙江省重点实验室等。立足于我国制造、材料、医疗等方向关键需求，启朴芯微将持续开展特种光学产品应用与推广。

在市场拓展方面，启朴芯微积极与高校、科研院所和相关行业企业开展合作与交流，共同推动光学传感技术的研发和应用，为客户量身打造小型化、集成化的高分辨率特种光学相机模组和光学检测解决方案，切实满足了客户对于高性能、高精度产品服务的需求，为构建千万级本土产业规模做出了积极贡献。启朴芯微不断吸纳、凝聚MEMS领域专业人才，构建了一支具有凝聚力、自驱力的智能传感领域科创工程师队伍，为公司的持续创新和发展提供了坚实的人才保障。面向未来，启朴芯微将继续深耕光学传感领域，以智能制造加工为导向，同步开展技术开发、团队平台建设和合作互信，不断提升自身的技术实力，更好地为客户提供质量MEMS微纳加工服务。遵循市场与生产对接流程，启朴芯微的服务流程高效顺畅！天津MEMS产品设计能力

配套百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室，启朴芯微带给您更可靠的工艺水平。中山智能MEMS产品设计研发型企业

启朴芯微始终保持对光学传感技术的热情和专注，不断追求技术的突破和升级，提升产品质量和服务水平，以质量的产品和服务赢得客户的信任和支持。同时以更加开放的姿态和更加务实的行动，加强与高校、科研院所和企业的合作与交流，携手合作伙伴共同推动光学传感技术的研发和应用，为推动国内光学传感产业的自主可控和持续发展贡献力量。在产品方面，启朴芯微专注于自主研发像元级光谱和偏振超维光学滤波芯片及光学系统，通过定制开发、项目互补与公司直营相结合的方式，打造小型化、集成化的高分辨率特种光学相机模组和光学检测解决方案，切实满足客户对于高性能、高精度产品服务的需求，在工业视觉检测、影像医学器械、汽车超维视觉、环境与食品安全检测等领域具有广泛应用前景。中山智能MEMS产品设计研发型企业