宁波晶圆级MEMS工艺检测研发型企业

在MEMS智能制造与智能传感装备设计研究领域，宁波启朴芯微拥有一支由专业博士组成的精英团队，曾多次获得、省部级技术发明奖项，并参与国家标准制定，在微纳传感器件的设计、制造、应用领域经验丰富。自成立以来，本着“斫雕为朴，芯程再启”的宗旨，启朴芯微持续参与MEMS智能制造与智能传感装备的设计研究，已形成多项发明专利、实用新型专利，团队凭借深厚的学术背景和丰富的实践经验，不断攻克技术难关，推动公司产品和服务的持续升级，赢得了广大客户的信赖和支持。启朴芯微，为您呈现我们在MEMS产品设计、晶圆加工、工艺检验等不同环节的技术服务能力。宁波晶圆级MEMS工艺检测研发型企业

宁波启朴芯微自主可控国内首条8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线，实验区内设置有激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机、电子束蒸镀仪、键合机、湿法腐蚀系统、磁控溅射仪、原子层沉积设备、化学机械抛光机、自动涂胶显影系统等整套技术设备，加工区域1000余平方米，具备**研发室、光学实验室，配套百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室，可以支持8英寸（兼容4/6英寸）晶圆级MEMS技术研发和加工制造，自建立以来已服务200余家高校、科研院所和科创企业，并先后成功获批浙江省MEMS传感芯片定制加工服务型示范平台、宁波市重点实验室、浙江省重点实验室等。厦门流量传感器MEMS工艺检测宁波启朴芯微系统技术有限公司成立于2022年9月，专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案。

宁波启朴芯微8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线，是科技与创新的完美结合。实验区内，先进的设备在有序运转，激光隐切机精细地切割着材料，光刻机如同一位技艺精湛的“雕刻师”，在晶圆上刻画出精细的图案。深硅刻蚀机则以微米级的精度，雕刻出复杂的结构。电子束蒸镀仪、键合机、湿法腐蚀系统等设备相互配合，共同完成了从原材料到成品的转变。加工区域的**研发室里，科研人员们日夜钻研，不断探索新的技术和方法。光学实验室中，他们利用先进的光学设备，对产品进行严格的检测和分析。百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，为产品的质量提供了可靠的保障。这条产线不仅服务了众多高校、科研院所和科创企业，还推动了整个行业的发展。

微机电系统（MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystems）是一种将微型机械结构、传感器、执行器与电子电路集成在单一芯片上的技术。其**是通过微纳加工工艺（如光刻、薄膜沉积、离子刻蚀等），在硅基或其他材料上制造出尺寸在微米至毫米级别的三维可动结构。这些结构能够感知或操控物理量（如压力、加速度、温度等），并通过嵌入式电路实现信号处理与通信。MEMS的制造技术借鉴了半导体工艺，但增加了机械部件的设计，例如通过深反应离子刻蚀（DRIE）形成悬臂梁、空腔或微型齿轮。这种技术的高度集成性使得MEMS器件在体积、功耗和成本上***优于传统机电系统，同时具备高灵敏度和快速响应能力，成为现代智能设备的组件之一。配套百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室，启朴芯微带给您更可靠的工艺水平。

在具备技术能力的基础上，启朴芯微团队持续助力广大客户的技术迭代与项目推进，通过定制开发、项目互补与公司直营相结合的方式，打造小型化、集成化的高分辨率特种光学相机模组和光学检测解决方案，切实满足客户对于高性能、高精度产品服务的需求，遵循市场与生产对接流程，市场人员负责对接客户方前后需求，建立生产人员直接沟通渠道并及时予以反馈，全程掌握从业务签订、开单生产到暂存、发货等环节，为广大客户提供质量、效率与稳定性并具的服务体验。启朴芯微始终坚持以客户为中心的服务理念，遵循定制开发、项目互补、公司直营的运营模式。江苏MEMS工艺检测项目咨询

启朴芯微始终坚持以客户为中心的服务理念,遵循定制开发、项目互补、公司直营的运营模式。宁波晶圆级MEMS工艺检测研发型企业

在MEMS智能制造与智能传感装备设计研究领域，启朴芯微拥有一支由专业博士组成的精英团队，曾多次获得奖项、省部级技术发明奖项，并参与国家标准制定，在微纳传感器件的设计、制造、应用领域经验丰富。自成立以来，本着“斫雕为朴，芯程再启”的宗旨，启朴芯微持续参与MEMS智能制造与智能传感装备的设计研究，已形成多项发明专利、实用新型专利，团队凭借深厚的学术背景和丰富的实践经验，不断攻克技术难关，推动公司产品和服务的持续升级，赢得了广大客户的信赖和支持。宁波晶圆级MEMS工艺检测研发型企业