北京半导体净化车间无尘室检测标准

10.3.1洁净厂房内的干燥压缩空气系统应根据各类产品生产工艺要求、供气量和供气品质等因素确定,并应符合下列规定:1供气规模应按产品生产所需供气量和计人必要损耗量确定,并应设有一定的备用供气量;2供气品质应根据生产工艺对含水量、含油量、微粒粒径及其浓度等要求确定;3供气系统可集中设置在洁净厂房内的供气站或洁净厂房外的综合动力站;4应选用能耗少、噪声低的设备,宜选用无油润滑空气压缩机，5含水量要求严格时,宜选用加热再生吸附干燥装置。由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径。北京半导体净化车间无尘室检测标准

E.5.1无恒温恒湿要求的温湿度检测应符合下列要求：1室内空气温度和相对湿度测定之前，空调净化系统应已连续运行至少8h。2温度的检测可采用玻璃温度计、数字式温湿度计；湿度的检测可采用通风式干湿球温度计、数字式温湿度计、电容式湿度检测仪或露点传感器等。根据温湿度的波动范围，应选择足够精度的测试仪表。温度检测仪表的极小刻度不宜高于0.4℃，湿度检测仪表的极小刻度不宜高于2%。测点为房间中间一点，应在温湿度读数稳定后记录。测完室内温湿度后，还应同时测出室外温湿度。上海实验室环境无尘室检测规范性强单向流和非单向流组合的气流。

15.5.1施工材料在运输、储存和施工过程中，应采取包裹、覆盖、密闭、围挡等措施，防止污染环境。15.5.2施工过程中应做到当天施工当天清理现场，并有专人负责的制度。在完成了高效过滤器安装、地面墙面的装饰工作之后，洁净室内不应再进行产尘、扬尘作业。15.5.3应根据环保噪声标准昼夜要求的不同，合理协调安排施工分项的施工时间。15.5.4施工完成后根据需要可进行环保测评。15.5.5施工组织设计应包括施工节能内容，编制施工节能方案，并经监理(建设)单位审查批准，对从事施工节能作业的专业人员应进行技术交底和必要的实际操作培训。15.5.6采取节约用电、用水措施，施工用电、用水应安装计量装置。

E.1.1风量风速检测必须首先进行，净化空调各项效果必须是在设计的风量风速条件下获得。E.1.2风量检测前必须检查风机运行是否正常，系统中各部件安装是否正确，有无障碍，所有阀门应固定在一定的开启位置上，且必须实际测量被测风口、风管尺寸。E.1.3测定室内微风速仪器的小刻度或读数不应大于0.02m/s，一般可用热球式风速仪，需要测出分速度时，应采用超声波三维风速计。E.1.4对于单向流洁净室，可采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量，垂直单向流洁净室的测定截面取距地面0.8m的无阻隔面(孔板、格栅除外)的水平截面，如有阻隔面，该测定截面应抬高至阻隔面之上0.25m;水平单向流洁净室取距送风面0.5m的垂直于地面的截面，截面上测点间距不应大于1m，一般取0.3m。测点数应不少于20个，均匀布置。E.1.5对于非单向流洁净室，内安装过滤器的风口可采用套管法、风量罩法或风管法测定风量，为测定回风口或新风口风量，也可用风口法。在未来，随着科技的不断推进，无尘室必将继续在人类的探索和创新道路上发挥着不可或缺的作用。

1.1洁净室建筑装饰工程施工应在主体结构、屋面防水工程4.和**护结构验收完成后进行。4.1.2洁净室建筑装饰施工应与其他工种制定明确的施工协作计划和施工程序。4.1.3洁净室的建筑装饰材料除应满足隔热、隔声、防振、防虫、防腐、防火、防静电等要求外，尚应保证洁净室的气密性和装饰表面不产尘、不吸尘、不积尘，并应易清洗。4.1.4洁净室不应使用木材和石膏板作为表面装饰材料。隐蔽使用的木材应经充分干燥并作防潮防腐和防火处理，石膏板应为防水石膏板。4.1.5洁净室建筑装饰工程施工应实行施工现场封闭清洁管理，在洁净施工区内进行粉尘作业时，应采取有效防止粉尘扩散的措施。无尘室是现代科技发展中的重要支撑，为各个领域的创新和进步提供了稳固的基础。压差无尘室检测值得推荐

凡不符合单向流定义的气流。北京半导体净化车间无尘室检测标准

16.4.22臭氧浓度的检验应符合下列规定：在风系统内或室内安有可产生臭氧的装置时，除装置本身产生的臭氧应符合现行的相关产品标准规定外，还应在系统和该装置正常运转条件下，检测室内臭氧浓度。应按附录E检验，结果应符合设计要求。当设计无明确要求时，应符合现行国家标准《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.16mg/m3的规定。16.4.23二氧化碳浓度的检测应符合下列规定：当对新风效果作细致确认时，可在风系统正常运行、室内处于动态条件下，于每一班次结束之前检测室内二氧化碳浓度，按附录E检验，结果应符合设计要求。当设计无明确要求时，应符合现行国家标准《空内空气质量标准》GB/T18883不大于0.10％的规定。16.4.24当需要测定分子态污染物浓度时，可按附录H的方法或按建设方与检验方商定的方法检测，结果应符合设计要求或双方商定的标准。北京半导体净化车间无尘室检测标准