河北实验室检测规范性强

洁净室在现代工业中早已被广泛应用于半导体生产、液晶萤幕生产、生化技术、生物技术、精密器械、制药、医院等行业之中，尤其以半导体晶圆制程对无尘等级的要求比较高，因为现今的晶圆已经发展到奈米级的水准，随便一粒灰尘掉落在晶圆上都可能造成整个晶圆线路的毁损，甚至导致这个晶圆必须报废。无尘室除了管控空气中的微尘粒子之外，还分成正压无尘室与负压无尘室。一般正压无尘室比较常见，就是让室内的空气压力大于室外的压力，这样才可以控制室内空气往外吹以杜绝外部的污染源。洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来，使污染物在扩散之前便流向回风口。河北实验室检测规范性强

A、室内测试人员必须穿洁净服，不得超过2人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。B、设备要在校准期内使用。C、检测前和检测后设备“清零”D、在单向流区域，所选择的采样探头应接近等动力采样，进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点，将采样口正对气流的主方向。非单向流的采样点，采样口应竖直向上。E、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。湖南生物安全柜检测认真负责噪音水平检测有助于评估洁净室内的工作环境舒适度。

（七）室内噪声1、仪器设备和环境仪器，设备测噪声仪器为带信频程分析仪的声级计。环境温度常温或设计温度下。2、抽样对有噪声设计要求的各个场所分别测定。3、技术要求室内噪声级应符合《洁净厂房设计规范》GB50073-2001的规定。在空态情况下，非单相流洁净室不应大于60dBA；单向流、混合流洁净室不应大于65dBA；洁净室的噪声频谱限制各频带的声压级值不应大于《洁净厂房设计规范》GB50073-2001表4.4.2的规定。4、操作过程及判定（1）测噪声仪器为带信频程分析仪的声级计一般只测A声级的数值。必要时测倍频程声压级。（2）洁净室面积在15m点采样，除房间两对角线相交的室中心位置外，另在房间四角对角线上对称的选取4点。（3）执行标准的编号及标准实施日期。（4）被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图。（5）被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径或沉降菌、浮游菌、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压差、被测洁净室的温湿度、噪声。（6）测试用的仪器的编号和标定征书测试方法细则及测试中的特殊情况.（7）测试结果包括在采样点坐标图上注明所测的粒子浓度或沉降菌、浮游菌的菌落数。（8）对异常测试值进行说明及数据处理。

、温湿度标准规定：洁净区的温度和相对湿度与药品生产工艺要求相适应。无特殊要求时，洁净区温度为18℃～26℃，相对湿度控制在45%～65%。有特殊要求车间根据工艺控制。温度观察：检查温湿度计是否完整，视线正对温湿度计水平读取显示的数据，需要记录的应立即填入表格中。湿度观察：视线正对湿度表，准确读数。需记录的应立即填入表格中。需要加水的湿度计，在观察前应检查在蓄水腔内是否有水，无水则需加入适量水，再观察湿度。洁净区的温湿度每天至少记录两次，上午一次，下午一次。设备计量人员每年至少组织校验一次监控系统的仪器设备。各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便。

每台风机出风面至少1点平均风速范围：m/s±20%额定风量测定用风量罩测试送风量风量罩的上开口应完全罩住过滤器或散流器C.产生气溶胶位置：回风口，风机进风口或发烟孔气溶胶发生器与高效过滤器之间没有滤器或已拆除D.产生气溶胶设置温度、供气压力及气溶胶数量E.光度计设置气溶胶浓度调节F.检漏扫描整个过滤器和安装所有边框和接点。采样头扫描速率≤5cm/s（3cm*3cm）。采样头扫描速率≤3cm/s（5cm*1cm）。采样头距离滤器表面距离≤3cm.检漏扫描所有结构部件：a)支架和建筑物之间b)支架和滤器边框之间c)整个滤器d)密封条、框架及支架之间e)采样头扫描速率≤5cm/s（3cm*3cm）f)采样头扫描速率≤3cm/s（5cm*1cm）g)采样头距离滤器表面距离≤3cmG.高效过滤器检漏标准泄露率≤6.高效过滤器完整性检测标准(高效过滤器检漏标准)ISO14644-3。定期进行光照度检测，确保工作区域光线充足且均匀。江苏口罩生产车间环境检测优化价格

采用非接触式检测技术，减少对洁净室的潜在污染。河北实验室检测规范性强

单向流洁净室的流动状态从雷诺数看是湍流，所以所谓层流洁净室中的层流和流体力学中的层流是完全不同的概念。因此，层流洁净室一词是不恰当的，国外的一些标准和文章也指出了这一点。例如，英国标准BS-5295曾将所谓的层流洁净室定义为单向流洁净室。层流在括号中表示。原联邦德国标准VDl-2083使用“非湍流置换流”一词，并在注释中指出层流的概念只是为了区分比层流更早出现的湍流(turbulent)流洁净室整理房间。在当时使用的成语中，“层流系统”的确切含义不是分层流，而是湍流的置换流。本章提到的概念是湍流的渐进流。在流体力学中，这种流动状态也可以称为平行流动或单向流动。1977年，我国在《清洁空气技术措施》中选择了“平行流”一词，并指出习惯上在该词后称其为“层流”。河北实验室检测规范性强