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《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室，检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时，应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子，其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样，并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度，且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m²设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m，距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度，宜距地面0. 85m,每25 m²设1个检测点。

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洁净室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。 山东实验室环境检测哪家好上海蔚亚环境检测高效、准确。

单向流洁净室的风速检测要求

单向流洁净室的风速基本稳定，气流的方向基本相同，进风口附近的风速与工作面的风速差别不大，而且整个洁净室内的风速均匀性较好。

(1)测点位置。按照《洁净窒施工及验收规范》(GB50591- 2010) 要求，垂直单向流洁净室的检测截面取距地面0.8m的无阻隔面(孔板、格栅除外)的水平截面，如有阻隔面，该检测截面应拾高至阻隔面之上0.25 m;水平单向流洁净室取距送风面0.5 m的垂直于地面的截面。

(2)测点个数。检测风速时，把检测断面均匀分成若干面积相等的格子，格子数即测点数。测点间距不应大于1m，-般取0.3m, 测点数应不少于20个。

依据美国联邦颁布的标准，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5m，例如，1级、10级、100级无尘室比较大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗。并且通过FS209E标准划分，每立方英尺里面允许含有较多的0.5微米尘埃粒子的数量就是洁净室的等级，比如每立方英尺允许含有较多1000个0.5微米的例子，那么这个洁净室就是千级，如果是10000个粒子就是万级，总共是从一级，十级，百级，千级，万级到百万级；工业无尘室主要控制无生命微粒对工作对象的污染，其内部一般保持正压，它适用于精密工业、电子工业、航天工业、化学工业、印刷工业等部门。工业无尘车间只要控制参数是温度、湿度、风速、流场、洁净度。空态：已经建造完成并可以投入使用的洁净室（设施）。它具备所有有关的服务和功能。

噪声的检测

1一般情况下可只检测A声级的噪声，必要时可采用带倍频程分析仪的声级仪，按中心频率63、125、 250、 500、 1000、2000、40000 800Hz的倍频程检测，测点附近1m内不应有反射物。声级计的较小刻度不宜低于0. 2dB (A)。

2测点距地面高1. lm。面积在15m²以下的洁净室，可只测室中心1点，15m² 以上的洁净室除中心1点外，应再测对角4点， 距侧墙各1m,测点朝向各角。

3当为混合流洁净室时，应分别测定单向流区域、非单向流区域的噪声。

4 有条件时，宜测定空调净化系统停止运行后的本底噪声，室内噪声与本底噪声相差小于10dB (A)时，应对测点值进行修正:相差(6~9) dB (A)时减1dB (A),相差(4~5)dB(A)时减2dB(A),相差3dB(A)时减3dB，相差小于3dB(A)时测定值无效。 净室被习惯 地应用在对环境污染特别敏感的行业。广东洁净工作台检测方便客户

洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气。安徽洁净室环境检测服务至上

如何维持良好的压差稳定性

1、定期更换新风滤网，以减少新风滤网堵塞造成的压差降低。

2、定期更换初效、中效过滤器，以减少送风量的波动带来的压差混乱。

3、不要频繁地开门、关门，以免自控系统反复调节出现失灵和压差紊乱。

4、减少每次开、关门时间，以免出现风量泄漏、压差降低超过系统的调节围。

5、关门必须关严，否则漏风量过大，会造成压差混乱。

6、使用自动门，可以设定开门时间、保持时间、关门时间，保证压差不受到很大的波动影响。

7、定期检查每一个门的密封性。

8、定期检查现场的压差装置及显示数据。

9、随时监控在线压差显示系统的数据，随时了解现场发生的状况，并及时提醒操作人员注意压差的稳定保持。 安徽洁净室环境检测服务至上