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光度计法（GB50591-2010）

1被检漏过滤 器必须已测过风量，在设计风速的80%~120%之间运行。

2在同一 送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。

3当几台 或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合，宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引人检漏用气溶胶，并立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。

4对于高效过滤器，当检漏仪表为对数刻度时，上风侧气溶胶浓度应超过仪表小刻度的10倍。当检漏仪表为线性刻度时，上风侧气溶胶浓度宜达到(20~80) pg/L. 浓度低于20ug/L会降低检漏灵敏度，高于80pg/L长时间检测会造成过滤器污染堵塞。检漏仪表应具有(0.001~-100) ug/L 的测量范围。

5对于光度计检漏法确认过滤器局部渗漏的标准透过率为0,01%，即当采样探头对准被测过滤器出风面某一点， 静止检测时，如测得透过率高于0,01%，即认为该点为漏点。 蔚亚第三方检测测试范围较广。河北洁净工作台检测技术好

高效、超高效过滤器效率检测方法

(1)钠焰法。用雾化干燥的方法人工发生氯化的气溶胶气溶胶颗粒的中值粒径约为0.5 um将过逮器上下游的氯化钠气溶胶采集到燃烧器中并在氧气火焰中燃烧，将燃烧产生的纳焰光度(波长为589 mm的特征光)转变为电信号，并由光电测量仪器检测，电流值了氯化钠气溶胶的质量浓度，用测定的电流值即可求出过滤器的过滤效率。

(2)油雾法。尘源为油雾。用浊度计测量受试过速器前后的油雾浊度差来判断过滤器对油雾的过滤效率。

(3) DOP法。试验用尘源为0.3 um单分散相，以邻苯二甲酸二辛酯(DOP, di -0-ty- phthalate)液滴为气溶胶粒子来测量高效过滤器的效率。所用仪器为光度计或浊度计，测量的值是受试过滤器前后的浊度差，并由此确定过滤器对0. 3 μm粒径粉尘的过滤效率。

(4) MPPS效率。MPPS是Most Penetrable Particulate Size的缩写，可译为“**易穿透粒径”或“比较大穿透粒径”。 湖北洁净室环境检测蔚亚科技第三方检测检测结果真实可靠。

洁净度检测的意义

在洁净室或洁净区的检测参数中，洁净度是主要的参数，也是建设单位关心的参数，尤其是运行状态下的洁净室空气洁净度等级，即生产设备运转及操作人员在场的工作状态时的检测结果( 动态检测结果)。但施工单位通常希望在空态下进行检测，因此洁净室在检测之前要明确洁净室的占用状态是空态、静态还是动态。

空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。

静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。

动态测试：洁净室已处于正常生产状态下进行测试。洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。

洁净室压差的基本概念及检测意义

洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差，必要的压差是控制漏气方向的手段，是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房，不允许室内空气向室外泄漏。

为了控制区域之间的漏气方向，对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外，或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室，或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室，生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以，测定宿净室的气压差很重要。

压差检测的目的是测定洁净室的静压差，它可以是正压或负压，以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时，相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙，将会造成空气泄漏，严重时会使洁净室内的气流紊乱，所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。

检测是验证洁净室是否达标的一个指标。

1.洁净室的基本参数

(1)洁净度。洁净度是指单位体积的空气中不小于某一 粒径的微粒个数。洁净度等级分为1 ~9级。

(2)微生物浓度。微生物浓度是指单位体积的空气中微生物的个数。微生物包括***、细菌、***等，种类繁多。

(3)温度。温度方面要满足工作人员舒道性要求， 另一方面会影响加工的精响度，甚至会影响仪器的参数，从而造成检测误差。而且湿度过大会造成金属腐蚀、

(4)湿度。湿度也是影响工作人员舒适性的条件，电路短路、细菌滋生。

(5)风速与风量。足够的风速与风量是洁净度的保证;过大的风速与风量不仅浪费能量，而且有时会影响洁净室生产设备的正常工作。

(6)气压与压差。控制压差是控制**气方向的手段。般洁净室为 了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区城泄涮。而***实验室或传染病房，为了安全考虑不允许室内空气向室外泄漏。

(7)照度。照度是满足正常生产工作的必要条件。

(8)噪声。噪声会影响人员的身体健康。

2.洁净室的特殊参数

(1)振动。振动-方面影响设备的加工精确度，另方面会影响仪器的检测精度。

(2)有害气体浓度。有害气体的种类繁多，有的会损害人体健康，有的会影响产品质量和产品的合格率。洁净室需要控制有害气体浓度。 专业的洁净室环境检测。上海电子厂房环境检测规范性强

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噪声超标问题

噪声超标，可能是风管太小，以致于气流速度过高，气流产生噪声，通常工作面高度气流速度应该控制在0.25m/s左右的。我们还可分析于消声系统问题，如发现未装消声器、劣质消声器、送风系统消声器配置不合理。也可能为FFU单机噪声偏高。或者是环境背景噪声影响，如工艺设备噪声、气体管道阀门泄漏、动力设施噪声源传播等。此外， 我们还可以考虑可能是标准指标不合适：通常控制值单向流<65dB(A)，非单向流<60dB(A)。 河北洁净工作台检测技术好