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《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472-2008)。本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室,检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时,应由里向外按顺序检测。3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1um(0.5μm)的粒子,其浓度应大于3.5x10pc/m。微粒仪距离滤器表面20~30mm处等速采样,并以5~20mm/s速度移动。4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO14644基本相同。5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度,且距吊顶、墙和地面不少于300mm。6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m,距墙大于3m。7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度,宜距地面0.85m,每25m2设1个检测点。push——push过滤器代理,上海蔚亚科技。湖南洁净室环境检测优化价格

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3、照度

a)在工作台面上,沿工作台面两内侧壁中心连线设置照度测量点,测量点之间的距离不超过300mm,与侧壁距离为150mm;

b)关掉安全柜的灯,从一侧起依次在测量点进行背景照度测量。平均背景照度应在110lx±50lx;

4、下降气流流速

在工作区上方高于前窗操作口上沿100mm的水平面上确定测量点位置,多点测量穿过该平面的下降气流流速;

a)测量点等距分布,形成的正方形栅格不大于150mm×150mm,测试点**少应有3排,每排**少应有7个测量点;

b)测试区域边界与安全柜的内壁及前窗操作口的距离应为150mm。

5、流入气流流速

测量排气气流流速确定流入气流流速(适于Ⅱ级A1、A2型安全柜)

a)用热式风速仪多点测量穿过排气过滤器面的气流流速,测量点为不大于100mm×100mm的栅格点,边界点距过滤器边缘100mm,测量面与过滤器面的距离约100mm;

b)计算各测点排气流速平均值即为平均排气流速(m/s),平均排气流速乘以排气面积(m2),得到排气流量(m3/s);

c)排气流量(m3/s)除以前窗操作口面积(m2),得到平均流入气流流速(m/s);

压差

这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项检测适用于所有3种占用状态。需要定期进行这项检测。

压差的测试应在所有的门都关闭的条件下,由高压向低压、由平面布置上与外界较远的里间房间开始,依次向外测试;有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室(区),其洞口处宜有合理的气流流向等等。

压差检测要求:

(1)静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行。

(2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一直检测到直通室外的房间。

(3)测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可,测管口面与气流流线平行。

(4)所测量记录的数据应精确到 1.0Pa。

压差检测步骤:

(1)先关闭所有的门。

(2)用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。

(3)记录所有数据。 洁净室环境检测依据行业标准及国家标准。

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1、高效过滤器完整性

a)生物安全柜检测的风机和灯,去掉过滤器的散流装置和保护盖。安放气溶胶发生器,将气溶胶导入安全柜,产生均匀分布的高效过滤器上游气流。

b)打开气溶胶光度计,进行调整;对含有气溶胶的高效过滤器上游气流进行测试,至少应有20ug/L PAO 。

c)光度计探头在过滤器下游距过滤器表面不超过25mm,以小于50mm/s的扫描速率移动,使探头扫测过滤器的整个下游一侧和每个组合过滤片的边缘,扫测路线应略微重叠。

2、噪声

a)打开安全柜的风机和照明灯,在安全柜前面中心水平向外300mm、工作台面上方380mm处测量噪声;

b)关闭安全柜的风机和照明灯,如果有室外排气风机,让其继续运行,在相同位置测量背景噪声。 上海蔚亚科技专门洁净室环境检测。生物安全柜检测技术好

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热球风速仪。热球风速仪也是基于散热与风速有关的原理制成的,分测头和指示仪表两部分。测头由电热线圈(或电热丝)和热电偶组成。当电热线圈通以额定电流时,它的温度升高,加热了玻璃球,因玻璃球体积很小,球体的温度可以认为与电热线圈的温度相同,通过电流时热电偶便产生热电势,指示仪表则指示出相应的热电势的大小。玻璃球的温度升降、热电势相应的大小与气流流速有关,气流流速大,球体散热快,温升越小;反之,气流流速小,球体散热慢,温升越大,热电势也就越大。按此原理,指示仪表可直接显示出风速。!湖南洁净室环境检测优化价格

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