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六检测方法及结果判定（一）风量或风速的测试1、抽样对有设计要求的区域进行检测。2、风量风速必须首先对净化空调各项效果进行检测。（1）乱流洁净室系统的实测风量值应大于各自的设计风量值但不应超过20%；实测新风量和设计新风量之差不应超过设计新风量的±10%；室内各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的±15%。（2）单向流层流洁净室实测室内平均风速应大于设计风速但不应超过20%；总实测新风量和设计新风量之差不应超过设计新风量的±10%。3、操作过程及判定（1）乱流洁净室a.对于不安装过滤器的风口可按综合效能普通通风空调风口风量测试的方法进行。b.对于安有过滤器的风口，根据风口形式可选用辅助风管，即用硬质板材做成与风口内截面相同、长度等于2倍风口边长的直管段连接于过滤器风口外部在辅助风管出口平面上，按**少测点数不少于6点均匀布置测点，用热球风速仪测定各点风速，以风口截面平均风速乘以风口净截面积确定风量。c.对于安有同类扩散板的风口，可以根据扩散板的风量阻力曲线和实测扩散板阻力，查出风量测定时用微压计和毕托管或用细橡管代替毕托管，但都必须使测孔平面与气流方向垂直使测值正确反映静压值。安装验证的内容包括多项检验信息和地点、辅助设施和设备的安全性能的介绍。检测哪家好

洁净室竣工验收洁净室竣工以后和投产后，都需要进行性能测定和验收；在系统大修或更新时，也要进行***测定，在测定前对洁净室的概况必须***了解。主要内容包括净化空调系统和工艺布置的平、剖面图及系统图对空气环境条件洁净度级别温、湿度风速等的要求空气处理方案送回风、排风量及气流组织人、物净化方案洁净室的使用情况厂区及其周围污染情况等。各种管道、自动灭火装置及净化空调设备空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋室等的安装应正确、牢固、严密其偏差应符合有关规定。高、中效空气过滤器与支撑框架的连接及风管与设备的连接处应有可靠密封。江苏检测方便客户相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应不小于5Pa。

五洁净室检测的工艺流程凡测定中所用的一切仪器设备必须按规定进行鉴定、校正或标定。测定之前，必须对系统、洁净室、机房等处进行***清扫；在清扫和系统调整后，必须连续运行一段时间然后进行检漏等项目的测定。（一）洁净室测定的程序大致如下：1、风机空吹2、室内清扫3、调整风量4、安中效过滤器5、安高效过滤器6、系统运行7、高效过滤器检漏8、调整风量9、调整室内静压差10、调整温湿度11、单相流洁净室截面平均速度、速度不均匀的测定12、室内洁净度测定13、室内浮游菌和沉降菌的测定14、和生产设备有关的工作和调整

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472-2008)。本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室，检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时，应由里向外按顺序检测。3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1um(0.5μm)的粒子，其浓度应大于3.5x10pc/m。微粒仪距离滤器表面20~30mm处等速采样，并以5~20mm/s速度移动。4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO14644基本相同。5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度，且距吊顶、墙和地面不少于300mm。6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m，距墙大于3m。7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度，宜距地面0.85m,每25m2设1个检测点。CMA资质方面：认可第三方检测机构，CMA计量认证资质。

噪声超标问题噪声超标，可能是风管太小，以致于气流速度过高，气流产生噪声，通常工作面高度气流速度应该控制在0.25m/s左右的。我们还可分析于消声系统问题，如发现未装消声器、劣质消声器、送风系统消声器配置不合理。也可能为FFU单机噪声偏高。或者是环境背景噪声影响，如工艺设备噪声、气体管道阀门泄漏、动力设施噪声源传播等。此外，我们还可以考虑可能是标准指标不合适：通常控制值单向流<65dB(A)，非单向流<60dB(A)。洁净区是空气悬浮粒子浓度受控的限定空间，建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。安徽实验室环境检测规范性强

传递窗主要适用于洁净区与非洁净区之间，或洁净室与洁净室之间的小货物传递。检测哪家好

 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

  (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。

  洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

  (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

  (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

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