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SF6的分解反应与水分有很大关系，因此要有去潮措施。SF6的密度是空气的5倍，极易存积在低洼处，在常温下性质稳定，在电弧作用下易生成有毒物质。纯净的SF6气体无色、无味、无臭、不燃，在常温下化学性质稳定，属惰性气体。但在电力行业，由于六氟化硫气体（SF6)主要是作为绝缘和灭弧介质而广泛应用于高压开关及其设备，在断路器和GIS操作过程中，由于电弧、电晕、火花放电和局部放电、高温等因素影响下，SF6气体会进行分解，它的分解物遇到水分后会变成腐蚀性电解质。尤其是有些高毒性分解物．如SF4、S2F2、S2F10SOF2、HF和S02，它们会刺激皮肤、眼睛、粘膜，如果吸入量大。上海利兴斯六氟化硫气体在半导体制造中的应用，能够提供优良的原材料，提高产品的性能。

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