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    本发明涉及用于从空气分离设备回收稀有气体诸如氖气、氦气、氙气和氪气的系统和方法，更具体地讲，涉及用于回收氖气和其它不可冷凝气体的集成回收系统和方法，该回收系统包括按与冷凝器-再沸器可操作地关联来布置并且完全集成在空气分离单元内的不s可冷凝物汽提塔。回收的粗氖蒸气流包含大于约50％摩尔份数的氖气，整体氖气回收率大于约95％。背景技术：低温空气分离单元(asu)通常被设计、构造和操作为满足一个或多个用户客户的基本负荷产品构成需求/要求，并且任选地满足本地或商家的液体产品市场需求。产品构成要求通常包括目标量的高压气态氧以及其它初级联产品，诸如气态氮、液氧、液氮和/或液氩。通常部分地基于所选择的设计条件来设计和操作空气分离单元，这些设计条件包括典型的日间环境条件以及可用的公用设施/供电成本和条件。尽管诸如氖气、氙气、氪气和氦气之类的稀有气体在空气中存在的量非常小，但能够借助于产生包含目标稀有气体的粗物流的稀有气体回收系统将这些稀有气体从低温空气分离单元中提取出来。因为空气中稀有气体的浓度低，所以通常并未将对这些稀有气体联产品的回收设计在空气分离单元的产品构成要求中。氖用于充填辉光灯、电子管、辉光指示牌、 荧光发射管、火花室、盖革-弥勒管和气体激光 器。新疆Ne氖气哪家好

    所述二倍频非线性晶体的相位匹配角为θ1＝90°，φ1＝0°～°。所述三倍频非线性晶体的相位匹配角为θ2＝°～°，φ2＝90°。所述四倍频非线性晶体的相位匹配角为θ3＝°～48°，φ3＝0°。其中θ1、θ2、θ3分别是非线性晶体波矢与晶体光学轴z的夹角，φ1、φ2、φ3分别是非线性晶体波矢在xy平面的投影与x轴的夹角。在本公开实施例中，如图3所示，311为基频激光源，输出波长为1064nm。321为二倍频非线性晶体，用于将1064nm倍频后产生532nm的激光输出。322为三倍频非线性晶体，用于将1064nm和532nm三倍频后产生355nm的激光输出。323为四倍频非线性晶体，用于将532nm倍频产生266nm的激光输出。各个非线性晶体均固定在精确温度控制的温控炉内，温控炉统一由驱动控制器控制温度要求。光路中各个非线性晶体均固定在比较好频率转换的位置以及晶体内的光斑半径也为比较好值，即均在比较好的频率转换条件下。且321二倍频非线性晶体比较好工作温度设为148℃，322三倍频非线性晶体比较好工作温度设为60℃，323四倍频非线性晶体比较好工作温度设为25℃。晶体的比较好工作温度和晶体的相位匹配角度有关，相位匹配角度不同对应的温度不同。河南普通氖气多少升在高电压下，氖气可被激发为氖的等离子体状态，发出红色橙色的荧光。

    空气分离单元在高压塔的状态下操作。大致高压塔转移到氖气回收系统，而大致。除了直接从氖气回收系统中取出的任何液氮产物之外，氖气回收系统能够以至低压塔的经过冷液氮的形式将约％的经转移物流返回到蒸馏塔系统(即，来自不可冷凝物汽提塔的)。回收氖气和其他稀有气体包括回收约％的氖气。通过将粗氖流的流量()乘以粗氖流中的氖气含量(％)并将该数字()除以主空气流(*％)和进入蒸馏塔系统的液体空气流(*％)中包含的氖气，计算出氖气回收率。如表1所示，粗氖蒸气流的组成包括％的氖气和％的氦气。表1。图2的氖气回收系统和相关联方法的工艺模拟)表2示出了针对参考图4描述的氖气回收系统和相关联方法的基于计算机的工艺模拟的结果。如表2所示，空气分离单元在高压塔的状态下操作。约高压塔转移到氖气回收系统，而大致。除了直接从氖气回收系统中取出的任何液氮产物之外，氖气回收系统能够以至低压塔的经过冷液氮的形式将超过99％的经转移物流返回到蒸馏塔系统(即，来自不可冷凝物汽提塔的)。回收氖气和其他稀有气体包括回收约％的氖气，而粗氖蒸气流的组成包括％的氖气和％的氦气。表2。

    Gigaphoton限时的eTGM技术也将扩展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。这一扩展计划将于2015年11月启动。通过引进eTGM技术，KrF和ArF激光器可减少25%的氖气用量，ArF浸没式激光器可减少高达50%的氖气用量。加速推出Gigaphoton的气体回收技术hTGM。该技术适用于所有类型的激光器。hTGM预计于2016年上市。采用hTGM技术后，客户将可以回收高达50%的消耗气体。Gigaphoton总裁兼首席执行官HitoshiTomaru表示：“氖气是半导体制造业不可或缺的气体，我们认识到在当前情况下，持续的供应危机是一个极为严重的问题，将会严重威胁生产的连续性。Gigaphoton将尽一切努力来支持客户的稳定生产，为此我们推出了三大措施：为气体供应商提供快速资质认证、大幅减少气体使用及尽早推出气体回收技术。氖气可用于产生氖气激光器，用于科学研究、医疗材料加工等领域。

    还可将经过冷液氮回流流的其他部分作为回流流引导至低压塔并且/或者将其看作液氮产物流。附图说明虽然本发明的结论是申请人视为他们的发明内容且清楚地指出发明主题的权利要求，但相信本发明在结合附图考虑时将得到更好的理解。其中：图1是具有本发明的不可冷凝气体回收系统的实施方案的低温空气分离单元的局部示意图；图2是图1的不可冷凝气体回收系统的更详细示意图；图3是具有不可冷凝气体回收系统的另选实施方案的低温空气分离单元的局部示意图；图4是图3的不可冷凝气体回收系统的一个实施方案的更详细示意图；图5是图3的不可冷凝气体回收系统的另一实施方案的更详细示意图；图6是具有本发明的不可冷凝气体回收系统的又一实施方案的低温空气分离单元的局部示意图；图7是图6的不可冷凝气体回收系统的更详细示意图；并且图8是图6的不可冷凝气体回收系统的更详细示意图。具体实施方式现在转到图1、图3和图6，示出了通常也称为空气分离单元10的低温空气分离设备的简化例示。从广义上讲，所描绘的空气分离单元包括主进料空气压缩机组20、涡轮空气回路30、增压器回路40、主或初级换热器系统50、基于涡轮的致冷回路60以及蒸馏塔系统70。如本文所用。可由液态空气分离得到，在真空管内发出淡红色辉光，用于电灯中 [neon]——元素符号Ne。西藏液氖提取

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    主进料空气压缩机组、任选的涡轮空气回路和增压器空气回路共同包括“热端”空气压缩回路。类似地，主换热器或初级换热器、基于涡轮的致冷回路的部分和蒸馏塔系统的部分被称为通常容纳在一个或多个绝缘冷箱中的“冷端”系统/设备。热端空气压缩回路在图1、图3和图6所示的主进料压缩机组中，进入的进料空气22通常被抽吸穿过吸气过滤器外壳(asfh)并且在多级中间冷却的主空气压缩机布置24中被压缩至可介于约5巴(a)至约15巴(a)之间的压力。该主空气压缩机布置24可包括串联或并联布置的整体齿轮式压缩机级或直接驱动压缩机级。离开主空气压缩机布置24的经压缩空气26被进料至具有一体式除雾器的后冷却器或(未示出)，以移除进入的进料空气流中的游离水分。通过用冷却塔水冷却经压缩进料空气，在后冷却器中将来自主空气压缩机布置24的压缩级的压缩的压缩热移除。来自该后冷却器以及主空气压缩布置24中的一些中间冷却器的冷凝物输送到冷凝物罐，并且用于向空气分离设备的其他部分供应水。然后将冷却且干燥的经压缩空气进料26在预纯化单元28中纯化以从该冷却的干的经压缩空气进料中移除高沸点污染物。如本领域所熟知。新疆Ne氖气哪家好