而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来,这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的基本要求是,图形边缘整齐,线条清晰,图形变换差小,且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体,通常多为氟化物气体,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制精确、方便、无脱胶现象、无基片损伤和沾污,所以其应用范围日益***。1.特种气体(Specialtygases)：指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多,通常可区分为电子气体、标准气、**气、医用气、焊接气、**气等,***用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。2、标准气体(Standardgases)：标准气体属于标准物质。标准物质是高度均匀的、良好稳定和量值准确的测定标准,它们具有复现、保存和传递量值的基本作用,在物理、化学、生物与工程测量领域中用于校.d([准测量仪器和测量过程,评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力,确定材料或产品的特性量值。成都一氧化氮标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。成都便携式气体厂家直销
以确保安全2、气体的饱和蒸气压及其他性能要了解各组分的饱和蒸气压及其他性能，考虎是否会产生冷凝作用、标准气体中组分与钢瓶同僻壁材质之间的作用、各组分间的反应等。3、标准气体中组分之间的反应标准气体在制备之前，应考虑标准气体中各组分间是否发生化学反应（即化学稳定性问题），实际上必须搞清楚哪些气体组分不能化学匹配，否则，制备出的标准气体量值不准确，甚至可能会发生**。4、标准气体中组分与钢瓶（容器）材料的反应在制备标准气体之前，还应考虑组分气体与钢瓶及阀门所用材质是否发生化学反应（如氧化、腐蚀、吸附等）问题，以便保证标准气体的稳定性。依据组分气体与包装容器材质的相容性，选用不同材质的钢瓶和瓶阀来储装标准气体。另外，在往气瓶中充入每一个组分之前，配气系统各管路应抽成真空，或者用待充的组分气体反复进行增压—减压来置换清洗阀门和管路，直到符合要求为止。为了避免先稳量的组分气体的损失，在往气瓶中充入第二个组分时，该组分气体的压力应远高于气瓶中的压力。为了防止组分气体的反扩散，在充完每一个组分后，在热平衡的整个期间应关闭气瓶阀门，然后进行称量。成都便携式气体采购便携式气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
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动态配气技术就是能连续不断的配制和供给一定浓度的标准气体。用动态配气技术配制标准气体时,首先需要一个能连续不断供给原料气的气源,作为这种配气方法的气源有钢瓶标准气和渗透管等。1.钢瓶气动态配气法在消防实际工作中,所用标准气体的浓度有时需要大,有时需要小。钢瓶标准气虽有不同浓度的规格供应,但购置各种浓度的标准气体,不仅代价太高,而且不一定能及时办到。较好的办法是购置一个浓度较高的标准气瓶,需要低浓度标准气体时,用钢瓶标准气作原料气,压缩空气(由低压空气钢瓶或空压机供给)作稀释气,将它们按图4连接,就可从取气口得到所需浓度的标准气体。740)">所配制的标准气体的浓度,可用改变原料气及稀释气的流量比进行调节,并可按下式计算:740)">式中:z:所配标准气体的浓度(ppm);L:钢瓶标准气的浓度(ppm);Qs:钢瓶标准气的流量(Lömin);Qa:压缩空气的流量(Lömin;用此法配气时,在压缩空气的管路中应安装选择性过滤器(净化器),以除去空气中影响配气纯度的杂质。此外配气出口的总流量应略大于用气口的流量,以保证所配气体的浓度与纯度。2.渗透管动态配气法(1)渗透管及渗透率的测定渗透管是动态配气法中的另一种气源,其结构见图5。740)">。乙烷标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
标准气体静态配气静态配气[4]是把一定量的液体或原料气加到已知容积的稀释气体的容器中,混合均匀。根据所加入的液体或原料气的量和容器的容积,即可计算出所配制标准气体的浓度。常用的静态配气技术有以下几种。1.大瓶子配气法将大容积的玻璃瓶或聚乙烯塑料瓶洗净、烘干,充入干净空气代替瓶中原有气体后,抽成负压,再充入一定量的液体或原料气。若原料在常温下是气体,用气体定量管加入(见图1),充入干净空气至常压。若原料是挥发性液体,可在一个小安培瓶中称取一定量的液体,放入大瓶中,抽气使成负压,再摇碎安瓶,待液体挥发后,再充入干净空气到常压。大瓶子配气法所制得的标准气体的浓度,可根据加入原料气的浓度或液体的量及大瓶子的容积求得:当加入瓶中的是原料气时,按下式计算:740)">式中:V1:原料气的体积(mL);L:原料气的浓度(ppm);V0:大瓶子的容积(L);Z:所配气体的浓度(ppm);当加入瓶中的是挥发性的液体时:740)">式中:t:气体的温度(℃);m:加入液体的量(g);M:液体的摩尔质量(gömol);Z和V0同上式。740)">用大瓶子配气时,由于器壁的吸附作用,配成的标准气体的实际浓度往往比计算值低。为避免这种影响,可以将***次配好的气体放置一段时间后抽掉,再进行第二次配气。四川医用气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。成都便携式气体采购
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