CVD)的方法生长一层或多层材料所用气体称为外延气体。硅外延气体有4种,即硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,淀积氧化硅膜,淀积氮化硅膜,太阳电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率往往与衬底不同。5.蚀刻气体(Etchinggases)：蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金属膜等蚀刻掉,而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来,这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的基本要求是,图形边缘整齐,线条清晰,图形变换差小,且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体,通常多为氟化物气体,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制精确、方便、无脱胶现象、无基片损伤和沾污,所以其应用范围日益***。6.掺杂气体(DopantGases)：在半导体器件和集成电路制造中,将某种或某些杂质掺入半导体材料内,以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率,用来制造PN结、电阻、埋层等。掺杂工艺所用的气体掺杂源被称为掺杂气体。福建工业气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。成都标准气体采购
比较通用的有SE2MI配气允差标准，但各公司均有企业标准。组分的**低浓度为10级，组分数可多达20余种。配制方法可采用重量法，然后用色谱分析校核，也可按标准传递程序进行传递。3.大型乙烯厂，合成氨厂及其它石化企业，在装置开车，停车和正常生产过程中需要几十种纯气和几百种多组分标准混合气，用来校准，定标生产过程中使用的在线分析仪器和分析原料及产品质量的仪器。标准气体适用范围1、用于气体产品质量控制2、用于仪器仪表的检定与校准3、用于大气环境污染监测4、用于医疗卫生及临床化验5、用于建筑家居环境监测6、建立测量的溯源性7、保证测量结果准确一致8、进行量值的传递9、促进测量技术和质量监督工作的发展标准气体制备方法编辑标准气体称量法1、适用范围称量法是**标准化**推荐的方法，它只适用于组分之间、组分与气瓶内壁不发生反应的气体，以及在实验条件下完全处于气态的可凝结组分。2、所需设备配气设备：真空泵，真空计，高、低压力表，阀门，气瓶卡具，机箱。称重设备：高精密天平标准气体渗透法1、适用范围渗透法是适用于制备痕量的活泼气体。是动态配气方法。2、所需设备配气设备：渗透管，稳压阀。稳流系统，流量计，温度记录仪表，阀门，管道。成都标准气体采购成都一氧化碳标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
RareGases)：元素周期表**后一族的六种惰性气体中的任何一种气体,即氦、氖、氩、氪、氙、氡。**种气体均可以空气分离方法从空气中提取。13.低压液化气体(LowPressureLiquefiedGases)：临界温度大于70℃的气体。区分为不燃无毒和不燃**、酸性腐蚀性气体;可燃无毒和可燃**、酸性腐蚀性气体;易分解或聚合的可燃气体。此类气体在充装时以及在允许的工作温度下贮运和使用过程中均为液态。包括的气体品种有一氟二氯甲烷、二氟氯甲烷、二氟二氯甲烷、二氟溴氯甲烷、三氟氯乙烷、四氟二氯乙烷、五氟氯乙烷、八氟环丁烷、六氟丙烯、氯、三氯化硼、光气、氟化氢、溴化氢、二氧化硫、硫酰氟、二氧化氮、液压石油气、丙烷、环丙烷、丙烯、正丁烷、异丁烷、1-丁烯、异丁烯、顺-2-丁烯、反-2-丁烯、R142b、R143a、R152a、氯乙烷、二甲醚、氨、乙胺、一甲胺、二甲胺、三甲胺、甲硫醇、硫化氢、氯甲烷、溴甲烷、砷烷、1,3—丁二烯、氯乙烯、环氧乙烷、乙烯基甲醚、溴乙烯。14.高压液化气体(HighPressureLiquefiedGases)：临界温度大于或等于-10℃且小于或等于70℃的气体。区分为不燃无毒和不燃**气体;可燃无毒和自燃**气体;易分解或聚合的可燃气体。此类气体充装时为液态。
△S:相邻两次称量的时间间隔(min);实际测定时,记录一系列称量和时间数据,用上式计算渗透率并求其平均值。或以称量数据为纵坐标,时间为横坐标,绘制渗透率的特性曲线,所得直线的斜率即为渗透率。(2)渗透管动态配气装置用已知渗透率的渗透管配制标准气体的装置如图6所示。740)">将渗透管放在气体发生瓶中,再将气体发生瓶放入恒温水浴中,恒温水浴的温度要与测定渗透率时的温度相同(一般为25±1℃),这样就可不作温度校正。稀释气(压缩空气)经硅胶、活性炭和氢氧化钠净化器2除去水分和杂质后,再经流量控制阀和流量计3进入气体发生瓶7(即混合器)中,将渗透出来的气体分子带出,就得到标准气体。标准气体的浓度可由下式求出(在25℃和一个大气压下)。740)">式中:z:所配标准气体的浓度(ppm);G:渗透管的渗透率(Lg/min);M:液体的摩尔质量(g/mol);Q:稀释气体的流量(L/min);VM:配气状态下气体的摩尔体积(L/mol)。四川乙炔标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
实验室之间的比对、**比对应由牵头实验室与二、三个提名比对实验室与二、三个提名比对实验室拟定详细的比对技术方案。比对的技术方案应包括：1、样品的详细描述；2、运输过程的注意事项；3、比对实验室在接收样品时应采取的措施；4、比对开始前应进行的检验，如压力等；5、比对分析时使用标准的条件；6、比对结果的说明；7、如何估处不确定度；8、参加比对的每个标准对SI单的溯源性；9、比对结果与牵头实验室沟通的时间表；10、比对经费；11、比对结果的报告格式。标准气体比对结果编辑参加比对的实验室必须尽可能快地向牵头实验室报告比对结果，**迟在比对测量完成后六个星期将测量结果、不确定度以及所需信息，以技术方案中给出的比对结果的报告格式交给牵头单位。标准气体注意事项编辑1、可燃气体的限从安全的角度出发，在制备标准气体之前，必须对标准气体混合的可行性进行研究。特别要考虑各组分气体的极限，在制备由可燃气体和氢气（或氧气）组成的标准气体时，要注意组分气体含量是否超过限的问题。否则在制备过程中，可能发生**。限是可燃性气体的重要技术数据。在配制含有可燃气体组分的标准气体前，必须了解该组分的限。福建丙烷标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。成都标准气体采购
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在标准气体研究阶段，要考察所研究的标准气体的均匀性，一般采用气相色谱法在相同的操作条件下，进行测定，以考察标准气体的均匀性，通常用平均值的一致性检验方法来判断。由于均匀性是考察同一瓶标准气体在制备完以后，多长时间量值达到稳定，由有限次测定得到的平均值，在方法的不确定范围内应该是不***的。如果差异是***的，这个因素就是标准气体的不均匀性造成的。标准气体稳定性编辑前言标准物质是指:“具有足够均匀并已经很好地确定某一种或多种特性的物质或材料,用于校准仪器、评价测量方法或确定物质的量值。”标准气体是气体标准物质,由于标准气体具有一定的有效期,因此,标准气体的稳定性是配制和使用过程中的关键问题。众所周知,装入高压容器(钢瓶)中的标准气体的一个重要条件是在保存和使用过程中其量值不应发生变化。实际上,标准气体中成分气体或不纯物与容器内壁接触时往往引起吸附、解吸、化学反应等现象,而使其量值随时间发生变化,在含量越低,组成成分越复杂时,这种变化就越大。标准气体稳定性研究如下：稳定性影响因素[2]标准气体稳定性在很大程度上与容器的材料特性、容器内壁的预处理、气体本身的化学特性和使用条件有着密切关系。成都标准气体采购
