现代社会每个人都在享受着真空技术给我们带来的便利。例如:暖壶能保温的秘诀就在于瓶壁内有真空的空间,减少了热传导,以保持壶内温度;荧光灯、街灯、汽车照明灯的内部也是真空状态,否则就无法发光。电视、电脑显示器等也离不开真空。眼镜和摄像机、照相机镜头为了提高光的透过率,表面所镀的光学薄膜也是应用了真空技术。 半导体产业离不开真空技术。生产半导体元件:(1)要在硅片上掺入相应的其他元素;(2)在生产集成电路时要形成复杂的金属薄膜和绝缘膜;(3)要进行表面的刻蚀处理等复杂的工序。如果生产过程中的真空度不够,表面上沾了灰尘或油滴之后会出现严重的后果。集成电路中细线的宽度是吸烟时吐出的烟雾颗粒直径的1/3,是一粒灰尘直径的近万分之一,阿尔卡特分子泵品牌企业。对集成电路而言,阿尔卡特分子泵品牌企业,哪怕落有一颗烟雾的颗粒,就好像大路上停了一架大型飞机一样,使电子无法通过或造成短路。 新材料开发离不开真空。以分子束外延为**的薄膜生长技术是新材料开发的重要手段,薄膜材料放到蒸发源中之后被蒸发或升华,在超高真空环境中,薄膜材料的原子或分子可以长距离飞行,阿尔卡特分子泵品牌企业,到达衬底成膜;而且由于残留气体少,衬底表面形成的薄膜纯度高。
中科科仪股份有限公司前身为中国科学院北京科学仪器研制中心(原中国科学院科学仪器厂),始建于1958年,是中国科学院一家由事业单位整体转改制企业。 五十余年的发展历程,中科科仪在电子光学、离子光学、真空物理等技术工程领域,承担过多项重要科研及支撑攻关项目,多次荣获国,家科学院等相关部门奖励,成功研制出我国一台扫描电子显微镜、***台涡轮分子泵、***台氦质谱检漏仪等。 中科科仪产品主要有:系列分子泵、离子泵等高真空获得产品;系列氦质谱检漏仪等真空检测产品;超高真空环境模拟设备、镀膜生产线等真空应用设备;扫描电子显微镜等分析仪器。产品应用于基础科学研究、现代高新技术产业工艺过程、先进装备制造、新能源材料、节能环保等领域。
关于常用真空泵的运行、选择以及维护等方面的重要信息的概述,并为您提供方案,避免这些问题的发生。 1、涡轮分子泵结构原理 涡轮分子泵是高或超高真空泵,主要由转子和定子两个部分组成。一个旋转的转子盘和一个静止的定子盘组成了一个泵级,泵级产生一个特定的压缩比。通过连续开启增加压缩效果的多个泵级,可以获得高达 1013的压缩比。例如,现代真空泵在后侧使用霍尔维克级(Holweck),减少了涡轮级的数量而不影响压缩效果。与此同时,一些生产商可能将允许的前级管道压力增加至 30 hPa 以上,极大减小了前级泵的尺寸。 无额外压缩级的涡轮泵可用于易凝结、升华以及形成颗粒的过程,因为狭窄的缝隙可导致沉积、机械损伤或堵塞。 2、涡轮分子泵前级真空压力 对于带有额外压缩级的涡轮分子泵,其前真空压力可以上升至 30 hPa以上。对于带有纯涡轮级的分子泵,前真空压力为 2-3hPa,但是这取决于抽送气体的种类,如氮气为 2 hPa,氢气为 0.5 hPa。 由于泵的过热,超过生产商指定的较大压力会导致轴承受损,情况严重的甚至会导致彻底失效。气体摩擦上升过高,且额外产生的压缩热无法消散。
保持涡轮分子泵平衡性可以确保低振动运转和较佳的轴承耐用性。在正常启动过程中,根据转子动力学,他们通过某种特定的共振频率。如果这些共振频率够刺激真空室、框架或整个系统的固有频率,他们就可以促进频率振幅的提升;在这种频率下,泵开始剧烈振动并发出非常大的声音。频繁在这些共振频率区域运行会导致转子受损,且可能会导致设备或内置振动敏感元件损坏。即便是带有磁轴承的涡轮分子泵也不例外。因此,较好确定系统的固有频率,并就相关数值向制造商进行咨询。通过加固、增加额外重量或变换设计方案等可以避免振动的发生。
Leybold德国莱宝已有160年历史,1850年创立于德国,1911年发明分子泵,1931年Leybold标志产生,一直用至今,1994年被瑞士Oerlikon收购,与其旗下的Balzer AG合并。欧瑞康莱宝真空在制程工业、信息技术、分析工艺和科研开发这些细分市场上,莱宝真空是世界排名**的供应商。 生活中无处不在,比如空调、电视机显像管和汽车应用,还有芯片、CD和DVD涂层等高科技工艺领域,以及光学玻璃或分析仪器的生产。 上海捷恬提供Leybold TURBO Pump 德国莱宝SL/TMP/TW/MAG全系列分子泵销售/维修/保养 Oerlikon Leybold Turbo Pump 德国莱宝分子泵保养、维修的部分型号: SL系列 SL80、SL80H、SL80C、 SL300 、SL700 T/C系列 T1600 、T1600C 、T1601 、T1601C TMP/C系列 TMP151C、TMP360、TMP360C 、TMP361C、 TMP450C 、 TMP600C、TMP1000C 、TMP1100C、 TMP1500C、 TMP3500C TMP系列 TMP50、TMP55、 TMP150、 TMP151 、TMP361、TMP450、TMP600、TMP1000、 TMP1100 、TMP1500、TMP3500 TW/H/S系列
美国的Agilent安捷伦公司于2010年收购了Varian瓦里安分子泵。安捷伦提供了抽速从 46 至 7500 升/秒的全系列涡轮分子泵,其中包括 Navigator 和 TwisTorr 两个产品线。 应用领域:高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体,并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的**泵。 上海捷恬提供Agilent TURBO Pump Controllers美国安捷伦Turbo全系列分子泵控制器/驱动器/电源/ 销售/维修/保养 Agilent TURBO Pump Controllers 安捷伦分子泵电源、控制器、驱动器维修的部分型号: TV/NSF系列 TV401/301/21 NSF Turbo-V/KG/KT系列 Turbo-V1KG、Turbo-V3KT Turbo-V/ICE系列 Turbo-V1000ICE、Turbo-V2000ICE Turbo-V/HT系列 Turbo-V1000HT、Turbo-V1001HT、Turbo-V2000HT TwisTorr/FS-AG系列 TwisTorr 84 FS、TwisTorr 304 FS、TwisTorr 304 FS-AG Turbo-V-AG系列 Turbo-V81-AG、TwisTorr 84 FS-AG、Turbo-V301-AG 、Turbo-V750/850-AG Turbo-V/Rack系列