在半导体行业，直线电机因其高精度、高速度、高加速度和长行程等特点，被广泛应用于多个制造和加工环节。以下是一些具体的应用场景：
晶圆制造：①晶圆切割：直线电机用于晶圆切割机的精确控制，确保晶圆切割的精度和效率。②晶圆清洗：在晶圆清洗设备中，直线电机用于控制清洗头的运动，以实现均匀清洗。
光刻：①光刻机：直线电机用于光刻机的曝光系统，精确控制掩模对晶圆的定位和曝光，以实现微米级甚至纳米级的图案转移。
硅片加工：①蚀刻机：直线电机用于蚀刻机的硅片传输和定位，确保蚀刻过程的高精度。②离子注入：在离子注入机中，直线电机用于精确控制离子束对晶圆的注入角度和位置。
芯片封装：①芯片贴装：直线电机用于芯片贴装机，精确地将芯片放置到引线框架或基板上。②打线机：在打线机中，直线电机用于精确控制打线头，将金线或铜线连接到芯片的焊盘上。 TOYO伺服电缸搭配XC100驱动器。東佑達TOYO机器人气浮平台
TOYO电控产品分为：气浮平台、直线电机、电动缸、电夹爪。
气浮平台，通常指的是一种利用气体（通常是空气）的浮力来支撑并移动重物的技术平台。这种技术可以应用于多种场合，以下是一些气浮平台的主要应用和特点：在精密加工领域，如半导体制造，气浮平台可以提供极高的精度和平稳性，用于支撑和移动精密设备。
特点：1、低摩擦：气浮平台可以极大地减少摩擦，从而减少能量损耗，提高运动精度。2、高稳定性：通过精确控制气体的压力和流量，气浮平台可以保持很高的稳定性。3、无污染：由于减少了机械接触，气浮平台在运行过程中产生的污染较少。4、维护简单：相对于传统的机械轴承或滚轮，气浮平台减少了机械磨损，因此维护更为简单。
气浮平台通常包括以下几个部分：1.气浮垫：产生气浮力的主要部分，通常是一个有许多小孔的平面，气体从这些小孔中喷出，在平台与支撑面之间形成一层气膜。2.供气系统：包括气源、调节阀、管道等，用于向气浮垫供应稳定且压力可控的气体。3.控制系统：用于调节气体的压力和流量，以控制气浮平台的运动和稳定性。气浮平台是实现高精度、低摩擦运动的有效手段，随着技术的发展，其应用领域也在不断扩大。 精品TOYO机器人原厂TOYO机器人，准确控制，确保生产过程稳定可靠。
XC100驱动器介绍
TOYO XC100驱动器为DGTH/DGTY/DM/DNT系列电动缸驱动器。支持IO控制、RS485控制、脉波控制（电动夹爪除外）、EtherCAT控制（TC100E）。
XC100保修期：（保修期以先到达者為准。①本公司出货后18个月、②交货至指定场所后12个月。
XC100保修范围：上述期限内，正常使用状态下发生的故障，且明显因制造方的责任引起故障的，则无偿提供修理。但符合下列情形之一的，不在保修范围之内。①颜色的自然退色等随时间变化的情况；②因耗材的使用损耗引起的情况；③机械上无影响的声音等感觉性现象；④因使用者使用不当及错误使用引起的情况；⑤因维护检查疏忽或错误引起的情况；⑥使用非本公司质量配件引起的情况；⑦未经本公司及本公司经销商同意擅自进行改造；⑧自然灾害、事故及火灾等引起的情况。
XC100驱动器的特点
使用XC100驱动器时需搭配软件TOYO-Single使用，可以通过该软件控制轴运动、修改参数、设置点位、监控信号/数据。
XC100驱动器支持不外接传感器的情况下实现回零操作（通过扭力判断是否到达原点），同时输出回原完成信号。XC100驱动器可以通过软件设置行程软限位，限位到达会有限位报警（无法判断正限位/负限位）。
XC100驱动器输入点位有14个，输出点位有10个，只支持NPN接线方式。
XC100驱动器编码器为增量式，断电位置会丢失，每次断电重启需回原操作。
XC100可实现扭力控制，动作时达到设定的扭力即动作完成。
XC100支持集电极控制与差分控制，集电极控制容易受干扰，建议使用差分控制。 TOYO机器人，稳定高效，助力企业实现可持续发展。
TOYO模组特注码介绍：TOYO标准特注码有外拉式注油嘴位置（NL注油嘴在滑座左侧、NR注油嘴在滑座右侧、NRL滑座两侧都有注油嘴）、标准PIN孔/销钉孔（P标准PIN孔）、外观染黑处理（EB）、电机传动配件追加键槽（CMK马达侧单边：联轴器、皮带轮加键槽；SKY双边联轴器加键槽，转折模组不适用，需要非标；SKN双边：不带联轴器）。
以上是模组标准特注码，除此之外，模组还能对滑座进行非标：双滑座（同向同动/反向同动）、滑座加长；电机法兰座工厂也会根据客户使用的电机品牌进行非标处理。
本体/滑座工厂基本不会接受特殊定制。 TOYO夹爪种类丰富，可满足不同需求！东佑达TOYO机器人极坐标模组
高效作业的TOYO机器人，为企业发展增添动力。東佑達TOYO机器人气浮平台
直线模组作为自动化设备中常用的传动部件，其稳定性和精度对整个系统至关重要。常见的故障类型主要包括以下几种：1.运动精度下降：原因可能包括导轨磨损、滑块损坏或脏污、紧固件松动等。2.噪音和振动：可能由于润滑不良、部件磨损、装配不当或负载不均引起。3.推力不足或无法运动：这可能是由于电机故障、传动带松动或断裂、内部机械损坏等原因造成。4.定位不准确：可能是编码器或传感器故障、控制系统问题或机械部件磨损导致。5.润滑系统故障：润滑不良或润滑点堵塞，导致运动部件磨损加剧。6.电气连接问题：包括电缆损坏、接插件松动或接触不良，影响电机的正常工作。7.温度异常：过热可能是由于过载、润滑不良或散热不畅引起。针对这些常见故障，定期的维护和检查是必要的，包括但不限于以下措施：定期清洁和润滑，保持模组清洁和良好的润滑状态。检查并紧固所有连接件，确保无松动。监测运动过程中的温度变化，防止过热。-定期检查电气连接，确保接触良好。检测运动精度，及时调整或更换磨损部件。通过这些预防措施，可以有效减少直线模组的故障发生率，延长其使用寿命。東佑達TOYO机器人气浮平台
