金属粉末(如钛合金、高温合金粉末)的高温烧结需严格隔绝氧气,罗茨真空泵凭借高效抽气与惰性气氛兼容特性,成为关键设备。在 1200-1400℃的烧结工艺中,其与螺杆泵组成的二级真空系统,可在 30 分钟内将炉内压力从大气压降至 10⁻²Pa,快速抽除炉内空气后充入氩气,维持氧含量≤5ppm,避免金属粉末氧化。针对球形钛合金粉末的致密化烧结,罗茨泵的动态压力调节功能(通过 PLC 智能反馈),能在烧结中期(温度 1300℃左右)加大抽速,抽除粉末内部扩散的氢、氮气体,使零件致密度从初始的 65% 提升至 98.5% 以上,满足航空航天部件对抗拉强度的要求。其抗粉尘设计(内置过滤精度 10μm 的金属滤网)可耐受粉末轻微泄漏,减少设备维护频次;配合炉体的气冷循环系统,在烧结结束后能快速充入惰性气体降温,将生产周期缩短 25%,同时保障零件尺寸精度(误差≤±0.03mm)。气冷式罗茨泵用冷却气体冷转子,湿式则注水降间隙泄漏量。北京罗茨真空泵采购批发

罗茨真空泵的气体传输过程可分为三个关键阶段:吸气阶段中,转子旋转使进气侧容积扩大,气体在压差作用下进入腔体;压缩阶段通过转子啮合将气体封闭在腔室与转子形成的空间内,随旋转逐渐推向排气侧;排气阶段则利用前级泵的抽力将气体排出。整个过程依赖转子型线的精密设计,常见的渐开线或外摆线包络线结构,能比较大限度减少泄漏,提升容积效率。这种连续运转模式使其在低压力下仍能保持高抽速,尤其适合需要快速抽空的工艺需求。作为增压泵,罗茨真空泵无法单独实现极限真空,必须与前级泵组合使用。其**价值在于弥补前级泵在中真空区间的抽速不足,拓宽系统工作压力范围。当系统压力降至特定阈值时,罗茨泵启动,通过接力输送大幅缩短抽气时间。例如在镀膜工艺中,它能协助前级泵快速将腔室压力降至 10⁻³ mbar 以下,为工艺启动创造条件。这种组合模式不仅提升了系统性能,还能降低单一泵体的负载,延长整体使用寿命。广东干式罗茨真空泵罗茨真空泵抽速稳定,助力工业真空环境高效构建。

罗茨真空泵安装时,泵需置于明亮、少尘、通风好的建筑内,环境温度控制在 5 - 40℃,周围预留足够空间便于维护。可与前级泵装在同一机架组成机组后安装于混凝土基础,大型泵可单独安装,基础需根据泵重和地基耐压力确定受压面积与深度,浇灌时预留基础螺栓空穴且表面水平。管道安装要确保无焊渣等异物,出口至前级泵进口需装弹性软管减少振动影响,前级泵进口可装旁通预抽管道及阀门缩短预抽时间,还需装放气阀或逆止阀防返油返水,法兰处用 O 型橡胶密封圈密封并涂真空考克脂,沉重管道需支撑,水冷泵进水口要装调节阀。电气设备需具备互锁、过载及过热保护装置,电机接线要保证转向正确,大型泵需配降压启动装置。
罗茨真空泵在较宽的压力范围内有较大的抽速,启动快,能立即工作。对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感,转子不必润滑,泵腔内无油,振动小,驱动功率小,结构紧凑,占地面积小,运转维护费用低。这些特点使其在冶金、石油化工、造纸、食品、电子工业等部门得到广泛应用。罗茨真空泵应安装在干燥、通风良好和清洁的场所,环境温度为5-40℃,需水平安装,周围应留有充分的余地,便于日常检查、维护保养和拆装。接通电源后,电机转向应符合泵上转向箭头所示。连接被抽容器的管道应清洁,无杂质等异物,孔径不应小于泵口口径,长度宜短,以保证足够的通导能力,管道连接应密封不漏。
罗茨真空泵噪音控制佳,符合车间环保噪音标准。

按冷却方式划分,罗茨真空泵可分为风冷式与水冷式。风冷式采用电机集成散热设计,结构紧凑,无需外部冷却回路,在热处理、食品包装等领域应用***。其优势在于安装便捷、运行成本低,且能适应移动工况需求。水冷式则适用于抽速超过 2000 m³/h 的大型设备,通过强制水冷维持腔体温度在 60℃以下,确保高负荷运行时的稳定性,常见于半导体长晶、大型镀膜等工业场景。按结构级数可分为单级与双级罗茨真空泵。单级泵结构简单,由一组转子组成,抽速范围通常为 100-2000 m³/h,适合对真空度要求不高的一般工业应用。双级泵则串联两组转子,通过两级压缩提升极限真空度,可达到 10⁻⁴ mbar 级别,同时降低排气温度。双级结构在半导体制造、真空蒸馏等**领域更为常见,能满足高精度工艺对真空环境的严苛要求。罗茨真空泵符合行业标准,确保安全合规运行。罗茨真空泵采购批发
罗茨泵常与前级泵串联,双级或多级机组可获高真空,应用领域广。北京罗茨真空泵采购批发
罗茨真空泵(简称罗茨泵)是无内压缩的旋转变容式真空泵,由罗茨鼓风机演变而来。按工作压力范围,可分为直排大气的干式真空泵、湿式罗茨泵、中真空罗茨泵(机械增压泵)和高真空多级罗茨泵。它具有诸多***特点,在较宽压力范围内抽速大,设有旁通溢流阀可在大气压力下启动以缩短抽气时间,转子与转子、转子与泵腔壁间有 0.15-1.0mm 间隙,无摩擦无需润滑,泵腔内无油,运行平稳噪声低,结构紧凑占地面积小,卧式结构利于排除灰尘或冷凝物。在真空工程中,罗茨泵常与前级泵(旋片泵、滑阀泵、水环泵等)串联构成机组,双级或多级机组可获高真空,气冷式机组适用于干式清洁无油系统,湿式机组适用于含水蒸气系统。因其抽速高(可达 100000m³/h 以上)、结构简单、运行经济,在冶金、石油化工、轻工造纸、电工电子、食品等工业部门应用***。
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碳化硅外延工艺需在超洁净低压环境中进行,罗茨真空泵的无油污染与精细控压特性使其成为**设备。在外延炉预处理阶段,其与分子泵串联使用,可将炉内真空度提升至 10⁻⁴Pa,抽除衬底表面吸附的氧、氮杂质,保障外延层质量。外延生长阶段,罗茨真空泵能精确控制反应室压力在 1-10Pa,配合气体流量控制系统,实时抽除未反应的硅烷、氢气等原料气体,避免多余气体沉积影响外延层厚度均匀性。对于 6 英寸及以上大尺寸碳化硅外延,其 1200L/s 的超大抽速可实现反应气体快速置换,缩短工艺周期;其 IoT 传感器还能实时监测抽气速率与压力变化,实现预测性维护,减少设备停机时间。罗茨真空泵在航天领域,保障真空实验顺...