气冷式直排大气罗茨真空泵(简称气冷罗茨泵),因特殊结构设计可平衡内部压缩热,许用压差达8.7×10^4Pa,能直接向大气排气,具备抽速大、耐压高、无污染、低功耗的***优势。其应用形式分为单泵与机组两类,多数场景下会组合成气冷罗茨机组以适配不同工况。在工作特性上,气冷罗茨泵功耗与工作压差呈线性关系,稳定工作时压差越小,长期功耗越低,选型时需按最大压差匹配电机;作为主泵或中间泵时,低真空范围可直接排气,使机组抽速从大气压起就由其决定,大幅提升抽速;作为前级泵时,能替代油封泵、液封泵组成全罗茨机组,满足无介质污染的严苛要求,在多个工业领域应用***。气冷罗茨泵通过级间热交换器冷却排气,使气体降温后进入下一级,适配直排大气场景,减少高温对泵体的影响。浙江滑阀罗茨真空泵报价

真空电弧自耗炉铸锭需在稳定低压环境中控制凝固组织,罗茨真空泵的精细控压能力至关重要。在发电机轴用合金钢锭铸锭中,其可将结晶器内真空度维持在 0.1Pa 左右,抽除凝固过程中释放的气体,减少钢锭疏松与偏析缺陷;配合感应搅拌系统,能促进铸锭结晶均匀致密,提升力学性能。对于大直径钛锭铸锭,罗茨真空泵的高抽速特性可在铸锭生长过程中实时抽除熔体释放的内应力气体,配合水冷结晶器实现定向凝固,使铸锭内部质量达到 ASME 1320 中 7 级标准。其还支持惰性气体保护铸锭,在抽真空后充入氩气防止铸锭表面氧化,保障铸锭表面光洁度与尺寸精度。江苏罗茨真空泵头部企业/厂家罗茨真空泵气体输送能力强,提升真空系统效能。

罗茨真空泵启动迅速是其**优势,设备能在短时间内达到所需真空状态,缩短工艺准备时间。结构上具有紧凑简洁的特点,零部件数量相对较少,运维难度较低,维护费用也更为经济。但与之对应的是,其对加工精度要求极高,转子与壳体的间隙控制需精细,装配难度较大,这也提升了制造门槛。节能性能突出是罗茨泵的重要特性。因无接触摩擦,机械损失小,能以较低的动力输入获得较大的抽速,能源利用效率高。此外,设备运行时噪音相对较小,对工作环境影响较低。不过其存在明显局限性,如压缩比低,单独使用无法获得高真空,且抽除氢气等轻质气体的效果不及油增压泵。
金属粉末(如钛合金、高温合金粉末)的高温烧结需严格隔绝氧气,罗茨真空泵凭借高效抽气与惰性气氛兼容特性,成为关键设备。在 1200-1400℃的烧结工艺中,其与螺杆泵组成的二级真空系统,可在 30 分钟内将炉内压力从大气压降至 10⁻²Pa,快速抽除炉内空气后充入氩气,维持氧含量≤5ppm,避免金属粉末氧化。针对球形钛合金粉末的致密化烧结,罗茨泵的动态压力调节功能(通过 PLC 智能反馈),能在烧结中期(温度 1300℃左右)加大抽速,抽除粉末内部扩散的氢、氮气体,使零件致密度从初始的 65% 提升至 98.5% 以上,满足航空航天部件对抗拉强度的要求。其抗粉尘设计(内置过滤精度 10μm 的金属滤网)可耐受粉末轻微泄漏,减少设备维护频次;配合炉体的气冷循环系统,在烧结结束后能快速充入惰性气体降温,将生产周期缩短 25%,同时保障零件尺寸精度(误差≤±0.03mm)。罗茨真空泵升级便捷,可根据需求提升性能。

碳化硅陶瓷的高温烧结(1800-2200℃)需超洁净真空环境与耐腐蚀性设备,罗茨真空泵通过特种材质与系统设计满足需求。在碳化硅生坯烧结过程中,其与低温冷阱、扩散泵组成的复合真空系统,可将炉内真空度稳定在 10⁻⁵Pa 量级,抽除高温下碳化硅分解产生的硅蒸汽与杂质气体,减少单晶缺陷。针对 6-12 英寸碳化硅衬底的烧结,罗茨泵的高转速转子(6000-8000rpm)能实现秒级压力响应,在烧结温度升至 2000℃时,实时抽除衬底表面吸附的氧杂质,保障衬底电学性能(电阻率偏差≤5%)。其泵腔内壁喷涂氮化铝耐腐蚀涂层,可防止硅蒸汽附着造成的设备损伤,延长使用寿命至 8000 小时以上;配合炉体的感应加热系统,能适配 2-8℃/min 的缓慢升温速率,促进碳化硅晶粒定向生长,使衬底平整度达到≤5μm/2 英寸,满足半导体行业的加工要求。罗茨真空泵属变容式真空泵,依靠泵腔内一对叶形转子同步反向旋转的推压作用移动气体实现抽气。浙江ZJQ气冷式罗茨真空泵原理
罗茨真空泵的转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。浙江滑阀罗茨真空泵报价
真空淬火炉需在快速升温与冷却中维持稳定低压环境,罗茨真空泵的高抽速与耐高温特性使其成为理想选择。在高速钢刀具淬火过程中,其与油增压泵串联使用,可将炉内真空度控制在 5×10⁻²Pa,既防止刀具加热时氧化脱碳,又能通过精确控压提升淬火硬度均匀性。淬火升温阶段,罗茨真空泵能快速抽除炉内残留氧气,抽速可达 600L/s 以上,确保在 1000℃以上高温下工件表面无氧化皮生成;冷却阶段则配合惰性气体加压系统,在维持真空基础上实现快速降温,提升刀具耐磨性与使用寿命。其间隙密封设计(0.1-0.3mm)能有效隔绝外部空气渗入,保障淬火工艺的稳定性与重复性。浙江滑阀罗茨真空泵报价
马德宝真空设备集团有限公司是一家有着先进的发展理念,先进的管理经验,在发展过程中不断完善自己,要求自己,不断创新,时刻准备着迎接更多挑战的活力公司,在浙江省等地区的机械及行业设备中汇聚了大量的人脉以及**,在业界也收获了很多良好的评价,这些都源自于自身的努力和大家共同进步的结果,这些评价对我们而言是比较好的前进动力,也促使我们在以后的道路上保持奋发图强、一往无前的进取创新精神,努力把公司发展战略推向一个新高度,在全体员工共同努力之下,全力拼搏将共同马德宝真空设备集团供应和您一起携手走向更好的未来,创造更有价值的产品,我们将以更好的状态,更认真的态度,更饱满的精力去创造,去拼搏,去努力,让我们一起更好更快的成长!
碳化硅外延工艺需在超洁净低压环境中进行,罗茨真空泵的无油污染与精细控压特性使其成为**设备。在外延炉预处理阶段,其与分子泵串联使用,可将炉内真空度提升至 10⁻⁴Pa,抽除衬底表面吸附的氧、氮杂质,保障外延层质量。外延生长阶段,罗茨真空泵能精确控制反应室压力在 1-10Pa,配合气体流量控制系统,实时抽除未反应的硅烷、氢气等原料气体,避免多余气体沉积影响外延层厚度均匀性。对于 6 英寸及以上大尺寸碳化硅外延,其 1200L/s 的超大抽速可实现反应气体快速置换,缩短工艺周期;其 IoT 传感器还能实时监测抽气速率与压力变化,实现预测性维护,减少设备停机时间。罗茨真空泵在航天领域,保障真空实验顺...