真空计是用于测量真空度的设备，其工作原理及测量范围对于了解真空技术至关重要。在真空镀膜机的腔体内，真空测量是指利用专门的仪器和装置来测定某一封闭空间内的真空度。这些仪器或装置被称为真空计（或规管），种类繁多，常见的分类方式是根据其测量原理。直接通过测定物理参数来获取气体压强的真空计被称为***真空计，例如U型压力计和压缩式真空计。***真空计测量气体压强较为准确，不受气体成分影响。而相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比来得出压强值，例如放电真空计、热传导真空计和电离真空计。相对真空计的测量准确度略逊于***真空计，且测量结果与气体种类相关。在实际生产中，除了真空校准外，相对真空计的应用更为***。 NC810A型薄膜真空计属于高精度计量器具，应定期计量检定。固定式真空计专卖店
真空计，又名真空表，是测量真空度或气压的仪器，其工作原理主要基于气体在真空条件下的物理效应变化。以下是真空计的分类及原理的详细介绍：一、分类按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类：利用力学性能的真空计：波尔登规（Bourdon）：利用细的铜管受气体压力舒展现象，带动杠杆和齿轮旋转，使指针指示在不同刻度上，读出相应的气压值。其测量范围一般在100Pa至1atm。薄膜电容规：利用不同压力下金属膜片受力变形，导致金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量得知气压变化。这种规的优点是灵敏度很高，但必须在高于环境温度的恒温条件下使用，并需要预热数小时。信息化真空计操作随着真空技术的普及，大量应用于单晶炉设备，真空计满足光伏行业基础单晶硅生产。
冷阴极真空计（ColdCathodeGauge，如潘宁计）原理：基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极，外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子，电子在磁场中螺旋运动，增加与气体分子的碰撞概率，导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。特点：量程：通常为10−6Torr至10−3Torr，适合中高真空。优点：无加热元件，结构简单、寿命长。对振动不敏感（适合航天等恶劣环境）。局限性：低真空下响应慢（需足够残余气体维持放电）。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高（需校准）热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低（可忽略）冷阴极计（潘宁）高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。
真空计广泛应用于气体输送、管道液体及密闭容器中测量无腐蚀性、无危险、无结晶体、不凝固体的各种液体、气体、蒸汽等介质的压力大小。特别是在半导体制造、光伏产业、纳米技术研发、生物医学研究以及航空航天等领域，真空压力计发挥着至关重要的作用，为产品的质量控制和研发创新提供了有力支持。四、特点与优势高精度：能够准确反映真空系统的压力状况。稳定性好：在长时间使用过程中保持测量结果的准确性。操作便捷：特别是对于数字式真空压力计，直接读取数字显示的压力值，操作更为简单直观。应用范围广：不仅适用于科研和工业生产中的真空测量，也适用于真空设备的检测和维护。使用真空计中若需调校零点，必须要有较高真空度的真空源。
规管构造主要包括加热灯丝C与D（通常采用铂丝）以及用于测量热丝温度的热电偶A与B（多采用铂铑或康铜-镍铬合金）。热偶真空计利用热电偶测量热丝温度变化，受气体种类影响，有特定的适用压强范围。在测量过程中，热电偶的热端与热丝紧密接触，而冷端则与仪器中的毫伏计相连，通过毫伏计可以读取热偶产生的电动势。不同气体的热传导性能各异，因此热偶真空计在测量不同气体时的结果会有所差异。为了获得准确的结果，需要对测量结果进行相应的修正。此外，热偶真空计的测量范围通常在102～10-1Pa之间。与电阻真空计相似，热偶真空计也具有一定的热惯性。在压强发生变化时，热丝温度的改变会存在一定的滞后时间，因此在读取数据时也需要相应地滞后一些时间。 所以测量时要特别注意被测量气体种类和成分.否则会对真空计造成很大误差。信息化真空计操作
对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成，而应采用复合真空计，较多的是电离与热偶式复合真空计。固定式真空计专卖店
《实时焦点测量仪校准规范》征求意见稿发布 真空计实时焦点测量仪是一种采用敏感元件直接感应射线强度分布从而测量X射线机焦点大小的仪器。今年3月，国家质量监督检验检疫总局发布《实时焦点测量仪校准规范》征求意见稿，规程包括封面、扉页、目录、引言、范围、引用文件、概述、计量特性、校准条件、校准项目和校准方法、校准结果表达、复校时间间隔、附录几个部分。并面向全国的计量技术机构、科研院所以及相关的行业企业征求意见。固定式真空计专卖店
