真空计是用于测量真空度的设备，其工作原理及测量范围对于了解真空技术至关重要。在真空镀膜机的腔体内，真空测量是指利用专门的仪器和装置来测定某一封闭空间内的真空度。这些仪器或装置被称为真空计（或规管），种类繁多，常见的分类方式是根据其测量原理。直接通过测定物理参数来获取气体压强的真空计被称为***真空计，例如U型压力计和压缩式真空计。***真空计测量气体压强较为准确，不受气体成分影响。而相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比来得出压强值，例如放电真空计、热传导真空计和电离真空计。相对真空计的测量准确度略逊于***真空计，且测量结果与气体种类相关。在实际生产中，除了真空校准外，相对真空计的应用更为***。 真空计测量过程中整个系统电源电压必须恒定。当真空度低于0.1Pa时，不能使用电离规。服务真空计哪里有
规管构造主要包括加热灯丝C与D（通常采用铂丝）以及用于测量热丝温度的热电偶A与B（多采用铂铑或康铜-镍铬合金）。热偶真空计利用热电偶测量热丝温度变化，受气体种类影响，有特定的适用压强范围。在测量过程中，热电偶的热端与热丝紧密接触，而冷端则与仪器中的毫伏计相连，通过毫伏计可以读取热偶产生的电动势。不同气体的热传导性能各异，因此热偶真空计在测量不同气体时的结果会有所差异。为了获得准确的结果，需要对测量结果进行相应的修正。此外，热偶真空计的测量范围通常在102～10-1Pa之间。与电阻真空计相似，热偶真空计也具有一定的热惯性。在压强发生变化时，热丝温度的改变会存在一定的滞后时间，因此在读取数据时也需要相应地滞后一些时间。 内置泵吸式真空计哪里有把待测压强气体的一部分进行隔离并加以压缩，直到压强增大到可以直接测量真空计的程度。
值得注意的是，由于它是一种相对真空计，所以其测量结果对气体种类具有一定的依赖性。其校准曲线通常针对干燥的氮气或空气进行标定。因此，在被测气体成分发生较大变化时，需要对测量结果进行相应的修正。此外，长时间使用后，热丝可能会因氧化而发生零点漂移，这要求我们在使用时避免长时间暴露于大气或高压强环境中，并可能需要通过调节电流来校准零点位置热偶真空计的规管构造主要包括加热灯丝C与D（通常采用铂丝）以及用于测量热丝温度的热电偶A与B（多采用铂铑或康铜-镍铬合金）
真空计与压强的关系为，真空度越高，压强越小；真空度越低，压强越大。正因为此，真空度的单位用的是压强单位。一个标准大气压用帕斯卡（Pa）表示为1atm=1.013×105Pa这样我们就得到不同真空单位之间的换算关系。有了单位，我们就可以对真空度进行划分。国际上没有统一的划分标准，常用的划分是这样的，粗真空：760Torr~1Torr低真空：1Torr~10-3Torr一般真空：10-3Torr~10-6Torr高真空：10-6Torr~10-9Torr超高真空：10-9Torr~10-12Tor那么有了这个标准，我们上面提到的针管中的真空以及托里拆利实验中的真空就都属于粗真空的范畴了。那么实验室里常用的超高真空状态是怎么实现的呢？这就涉及到了我们的**内容——真空泵。由于各种真空计在原理上的差异.在相互衔接的区域，往往要造成较大的误差。
***与相对真空计的比较***真空计测量气体压强较为准确，不受气体成分影响，而相对真空计须与***真空计对比得出压强值。在实际生产中，由于其校准更为便捷，相对真空计应用更为***。02电阻真空计◇工作原理电阻真空计通过测量热丝的电阻变化来间接获得真空度。在低压环境下，气体的热传导与压强密切相关，因此，电阻真空计的关键在于如何准确测量温度参数并建立电阻与压强的对应关系。测量范围及影响因素电阻真空计适用于测量较低至中等的真空度范围。其测量范围通常在105至10-2Pa之间。作为一种相对真空计，其测量结果会受到气体种类的影响，因为校准曲线通常是针对干燥的氮气或空气制定的。电阻真空计的长期使用需避免氧化影响，通过定期校准以确保准确性。 为改善真空计性能及提高真空测量准确度，必须突出主要现象，寄生现象。表1给出一些真空计的压力测量范围。AKS真空计检修
通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。服务真空计哪里有
工作原理与分类 根据物理效应差异，真空计可分为以下三大类： 力学性能类 原理：利用气体压力引起的机械形变或电容变化。 典型仪器：波尔登规（Bourdon）、薄膜电容规（测量范围：101325~133.32Pa）。 特点：适用于腐蚀性气体和可凝蒸汽。 热交换类（气体动力学效应） 原理：基于气体热导率随压力变化的特性，如皮拉尼真空计通过加热丝电阻变化推断压力（测量范围：5×10⁻⁴~1000Pa）。 典型仪器：皮拉尼电阻规、热电偶规。 带电粒子效应类 原理：利用气体电离产生的电流与压力成正比的关系。 典型仪器：热阴极/冷阴极电离规（测量范围：10⁻⁵~10⁻¹⁴Pa）。 特点：高精度但易受污染，需避免油蒸气。服务真空计哪里有
