结构组成播报编辑复合真空计包含热偶规管与电离规管两个**组件:热偶规管采用玻璃外壳,内部设有V形加热丝和倒V形镍铬-镍硅热电偶,通过测量加热丝温度变化推算压强电离规管为三极管结构,包含钨制灯丝、螺旋栅极和筒状收集极,灯丝发射电子经栅极加速后电离气体分子 [4]部分型号(如ZDF-1A/B)还集成金属电阻规,形成三通道测量系统。设备控制系统内置微处理器,实现AD高速转换和误差修正功能 [1]。复合真空计是将热偶真空计和热阴极电离真空计组合而成的宽量程真空测量设备,测量范围覆盖大气压至10⁻⁵Pa原理是把加于电容薄膜真空计上的压力变化产生膜片间距离的变化,即产生了电容的变化。国产真空计拆装

工作原理与分类 根据物理效应差异,真空计可分为以下三大类: 力学性能类 原理:利用气体压力引起的机械形变或电容变化。 典型仪器:波尔登规(Bourdon)、薄膜电容规(测量范围:101325~133.32Pa)。 特点:适用于腐蚀性气体和可凝蒸汽。 热交换类(气体动力学效应) 原理:基于气体热导率随压力变化的特性,如皮拉尼真空计通过加热丝电阻变化推断压力(测量范围:5×10⁻⁴~1000Pa)。 典型仪器:皮拉尼电阻规、热电偶规。 带电粒子效应类 原理:利用气体电离产生的电流与压力成正比的关系。 典型仪器:热阴极/冷阴极电离规(测量范围:10⁻⁵~10⁻¹⁴Pa)。 特点:高精度但易受污染,需避免油蒸气。泵吸式四合一真空计拆装随着真空技术的普及,大量应用于单晶炉设备,真空计满足光伏行业基础单晶硅生产。

普通型热阴极真空计的测量范围限定在1.33×10-1至1.33×105Pa之间。在高压强环境下,电子与气体分子的频繁碰撞导致电子流急剧增加,而低能碰撞则无法引发电离,进而影响离子流与压强之间的线性关系。另一方面,在极低的压强条件下(低于1.33×10-1Pa),高速电子产生的软X射线会引发离子收集极C的光电发射,从而引入与压强无关的电流,破坏离子流I+与气体压强之间的线性关系,使电离真空计无法准确测量真空室中的压强。选择合适的真空计是关键。
值得注意的是,由于它是一种相对真空计,所以其测量结果对气体种类具有一定的依赖性。其校准曲线通常针对干燥的氮气或空气进行标定。因此,在被测气体成分发生较大变化时,需要对测量结果进行相应的修正。此外,长时间使用后,热丝可能会因氧化而发生零点漂移,这要求我们在使用时避免长时间暴露于大气或高压强环境中,并可能需要通过调节电流来校准零点位置热偶真空计的规管构造主要包括加热灯丝C与D(通常采用铂丝)以及用于测量热丝温度的热电偶A与B(多采用铂铑或康铜-镍铬合金)把待测压强气体的一部分进行隔离并加以压缩,直到压强增大到可以直接测量真空计的程度。

规管构造主要包括加热灯丝C与D(通常采用铂丝)以及用于测量热丝温度的热电偶A与B(多采用铂铑或康铜-镍铬合金)。热偶真空计利用热电偶测量热丝温度变化,受气体种类影响,有特定的适用压强范围。在测量过程中,热电偶的热端与热丝紧密接触,而冷端则与仪器中的毫伏计相连,通过毫伏计可以读取热偶产生的电动势。不同气体的热传导性能各异,因此热偶真空计在测量不同气体时的结果会有所差异。为了获得准确的结果,需要对测量结果进行相应的修正。此外,热偶真空计的测量范围通常在102~10-1Pa之间。与电阻真空计相似,热偶真空计也具有一定的热惯性。在压强发生变化时,热丝温度的改变会存在一定的滞后时间,因此在读取数据时也需要相应地滞后一些时间。 真空计的种类有很多,适用范围也各有不同。机械真空计联系方式
所以测量时要特别注意被测量气体种类和成分.否则会对真空计造成很大误差。国产真空计拆装
《标准肖氏硬度计检定规程》征求意见稿发布 金属肖氏硬度计(以下简称硬度计)是测量金属材料的肖氏硬度的工作计量器具。由测量指示装置、冲头锁紧机构、试台、冲头组件和附件组成。9月10日,全国力值硬度计量技术委员会发布了《标准肖氏硬度计检定规程》征求意见稿,并面向全国的并面向全国的计量技术机构、科研院所以及相关的行业企业征求意见。本规程适用于金属肖氏真空计硬度计的***检定、后续检定和使用中检查。国产真空计拆装