二、相对真空计的主要类型1.热传导真空计热传导真空计是利用气体在不同压力下对热量传递的影响来测量真空度的。在低真空范围内,其测量精度高,稳定性好。但由于其依赖气体的热传导性质,因此在不同气体组分的环境下,可能需要进行校准。2.电离真空计电离真空计的工作原理是通过电场加速电子,使气体分子电离,从而产生电流。该电流的大小取决于气体分子的数量和能量,因此可以作为测量真空度的依据。电离真空计适用于测量高真空和超高真空范围,且响应速度快,但对使用环境要求较高。真空计利用气体在低压力下的热传导、电离、粘滞性和应变等物理特性与压力的关系间接测量气体压力。那种真空计售后服务

真空计是用于测量真空度的设备,其工作原理及测量范围对于了解真空技术至关重要。在真空镀膜机的腔体内,真空测量是指利用专门的仪器和装置来测定某一封闭空间内的真空度。这些仪器或装置被称为真空计(或规管),种类繁多,常见的分类方式是根据其测量原理。直接通过测定物理参数来获取气体压强的真空计被称为***真空计,例如U型压力计和压缩式真空计。***真空计测量气体压强较为准确,不受气体成分影响。而相对真空计则通过测量与压强相关的物理量,再与***真空计对比来得出压强值,例如放电真空计、热传导真空计和电离真空计。相对真空计的测量准确度略逊于***真空计,且测量结果与气体种类相关。在实际生产中,除了真空校准外,相对真空计的应用更为***。 在线式真空计口碑好使用电离规时,按电离真空计操作执行。

工作原理播报编辑两种真空计在不同压强区间发挥测量作用:1.热偶真空计加热电流恒定状态下,热电偶电势与气体热传导系数呈正相关。当压强低于10Pa时气体导热系数随压强降低而减小,通过热电偶输出电势变化反映真空度。有效测量范围为100-0.1Pa [4]。2.热阴极电离真空计灯丝加热至2200K发射热电子,经150V栅极电压加速后与气体分子碰撞产生正离子。收集极在-25V偏压下捕获离子形成电流,该电流与气体压强成线性关系 [4]。典型工作范围为0.1-1×10⁻⁵Pa。设备通过动态切换机制实现量程衔接:当热偶计检测到压强低于10⁻¹Pa时,自动开启电离计 [1] [4]。ZDF-1A/B型具备1-99分钟可调延时切换功能,防止频繁启停损坏灯丝 [1]
利用气体动力学效应的真空计:皮拉尼(Pirani)电阻规:利用电阻与温度之间关系的原理工作,通过测量热丝电阻大小推算气压大小。其测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。热电偶规:与皮拉尼电阻规基本原理一致,但使用热电偶直接测量热丝的温度变化。测量范围也一般在0.1Pa至1000Pa。利用带电粒子效应的真空计:热阴极电离规:由热阴极发射电子,电离真空中的气体分子,产生离子,通过测量离子电流的大小推算出真空中气体分子的密度,进而得到气压大小。其测量范围一般为1.0E-05Pa至0.1Pa。冷阴极电离规:利用磁控放电电离气体分子产生离子,再进***压测量。其测量范围一般为1.0E-07Pa至0.1Pa。相关商品品质精选、专业服务复合真空计-倒磁控管和皮拉尼,从5X10-9 mbar 至大气气压的宽广测量范围不会出现丝极烧毁的现象。

NC610A真空计广泛应用于光伏、太阳能等行业的真空炉上。冷阴极型(如潘宁计):利用高压电场和磁场使残余气体电离,无需加热阴极。离子电流同样与气体分子密度相关。特点:量程:通常为10−9Torr至10−3Torr,适合高真空至超高真空。优点:高真空下精度高(信号与气体分子密度直接相关)。对气体种类不敏感(电离截面差异可忽略)。局限性:热阴极型需加热阴极,可能污染系统(蒸发材料)。冷阴极型在低真空下可能无法启动(需足够残余气体维持真空计电离)。真空计用于测量真空度或低于大气压的稀薄气体的气压,是一种使用的仪表。综合真空计私人定做
薄膜真空计是一种直接测量式的全压型的真空计。那种真空计售后服务
不同类型真空计(如皮拉尼、电离、冷阴极)的**区别在于其测量原理基于的物理效应不同,这些效应决定了它们的适用范围、精度、响应速度及对气体种类的敏感性。以下是具体分析:1.皮拉尼真空计(PiraniGauge)原理:基于热传导效应。传感器为金属丝(如钨或铂),通电后发热。气体分子密度(即真空度)影响热传导效率:高真空时,气体分子少,热传导主要依赖残余气体,金属丝温度较高,电阻增大。低真空时,气体分子多,热传导增强,金属丝温度降低,电阻减小。通过测量金属丝电阻变化推算真空度。特点:量程:通常为10那种真空计售后服务