小结如果你能看到这里，那么恭喜你，你已经对真空计有了相当多的了解。一句话总结一下，真空要一级一级抽，抽真空的仪器为真空泵，测量真空度实际是在测量压强，用的设备为真空计。那么，在真空的海洋里饱餐一顿之后，也不要忘记你手中的鹅腿，你的胃还在等着饱餐一顿呢。参考文献：[1]赵宝升，《真空技术》，科学出版社[2]郭方准，《实用真空技术》，大连理工大学出版社本文来自微信公众号：中科院物理所（ID：cas-iop），作者：阿白广告声明：文内含有的对外跳转链接（包括不限于超链接、二维码、口令等形式），用于传递更多信息，节省甄选时间，结果*供参考，IT之家所有文章均包含本声明。复合真空计附有一个热偶规管、一个电离规管，分别接在真空系统上。信息化真空计图片
在真空镀膜机腔体内，真空计测量是一项关键技术，它涉及使用专为这一目的设计的仪器和装置，即真空计，来测定特定空间内的真空度。真空测量分为***真空计和相对真空计。***真空计直接测量物理参数以确定气体压强，如U型压力计和压缩式真空计，它们不受气体成分影响，测量准确度高，但在极低气体压强下直接测量变得困难。相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比得出压强值，如放电真空计、热传导真空计和电离真空计等。这类真空计的测量准确度稍逊于***真空计，且结果可能受气体种类影响。在实际应用中，特别是在非校准场合，相对真空计更为常见。艾科思 真空计操作真空计测量范围压力测量中，除极少数直接测量外，绝大多数是间接测量。
NC610A真空计广泛应用于光伏、太阳能等行业的真空炉上。冷阴极型（如潘宁计）：利用高压电场和磁场使残余气体电离，无需加热阴极。离子电流同样与气体分子密度相关。特点：量程：通常为10−9Torr至10−3Torr，适合高真空至超高真空。优点：高真空下精度高（信号与气体分子密度直接相关）。对气体种类不敏感（电离截面差异可忽略）。局限性：热阴极型需加热阴极，可能污染系统（蒸发材料）。冷阴极型在低真空下可能无法启动（需足够残余气体维持真空计电离）。
真空计，又名真空表，是测量真空度或气压的仪器，其工作原理主要基于气体在真空条件下的物理效应变化。以下是真空计的分类及原理的详细介绍：一、分类按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类：利用力学性能的真空计：波尔登规（Bourdon）：利用细的铜管受气体压力舒展现象，带动杠杆和齿轮旋转，使指针指示在不同刻度上，读出相应的气压值。其测量范围一般在100Pa至1atm。薄膜电容规：利用不同压力下金属膜片受力变形，导致金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量得知气压变化。这种规的优点是灵敏度很高，但必须在高于环境温度的恒温条件下使用，并需要预热数小时。对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成，而应采用复合真空计，较多的是电离与热偶式复合真空计。
热传导真空计是一种测量低真空的真空计，顾名思义，就是利用热量变化来测量真空的仪器。它的原理就是将一根金属丝通电加热，由于气体分子的运动会带走一部分热量，因此达到热平衡时温度越高，就说明气体导走的热量越少，气体分子密度越小，也就是压强越低，真空度越高。电离真空计是目前采用**广的真空计，是一种测量高真空的真空计，只有在真空抽到一定量级时才可以打开。它的工作原理为：具有足够能量的电子与气体分子碰撞，使气体分子电离，产生正离子和电子；电子在运动过程中与分子碰撞的次数正比于分子数密度，也即压强P，因此产生的正离子数就正比于压强P，可以通过测量正离子的多少来标定真空度的高低。为改善真空计性能及提高真空测量准确度，必须突出主要现象，寄生现象。表1给出一些真空计的压力测量范围。爱德克斯四合一真空计安装
为改善真空计性能及提高真空测量准确度，必须突出主要现象，控制寄生现象。给出一些真空计的压力测量范围。信息化真空计图片
不同类型真空计（如皮拉尼、电离、冷阴极）的**区别在于其测量原理基于的物理效应不同，这些效应决定了它们的适用范围、精度、响应速度及对气体种类的敏感性。以下是具体分析：1.皮拉尼真空计（PiraniGauge）原理：基于热传导效应。传感器为金属丝（如钨或铂），通电后发热。气体分子密度（即真空度）影响热传导效率：高真空时，气体分子少，热传导主要依赖残余气体，金属丝温度较高，电阻增大。低真空时，气体分子多，热传导增强，金属丝温度降低，电阻减小。通过测量金属丝电阻变化推算真空度。特点：量程：通常为10信息化真空计图片
