真空计是用于测量真空度的设备，其工作原理及测量范围对于了解真空技术至关重要。在真空镀膜机的腔体内，真空测量是指利用专门的仪器和装置来测定某一封闭空间内的真空度。这些仪器或装置被称为真空计（或规管），种类繁多，常见的分类方式是根据其测量原理。直接通过测定物理参数来获取气体压强的真空计被称为***真空计，例如U型压力计和压缩式真空计。***真空计测量气体压强较为准确，不受气体成分影响。而相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比来得出压强值，例如放电真空计、热传导真空计和电离真空计。相对真空计的测量准确度略逊于***真空计，且测量结果与气体种类相关。在实际生产中，除了真空校准外，相对真空计的应用更为***。 随着真空技术的普及，大量应用于单晶炉设备，真空计满足光伏行业基础单晶硅生产。化工真空计技术参数
二、相对真空计的主要类型1.热传导真空计热传导真空计是利用气体在不同压力下对热量传递的影响来测量真空度的。在低真空范围内，其测量精度高，稳定性好。但由于其依赖气体的热传导性质，因此在不同气体组分的环境下，可能需要进行校准。2.电离真空计电离真空计的工作原理是通过电场加速电子，使气体分子电离，从而产生电流。该电流的大小取决于气体分子的数量和能量，因此可以作为测量真空度的依据。电离真空计适用于测量高真空和超高真空范围，且响应速度快，但对使用环境要求较高。什么样真空计使用方法NC810A型薄膜真空计属于高精度计量器具，应定期计量检定。
工作原理与分类 根据物理效应差异，真空计可分为以下三大类： 力学性能类 原理：利用气体压力引起的机械形变或电容变化。 典型仪器：波尔登规（Bourdon）、薄膜电容规（测量范围：101325~133.32Pa）。 特点：适用于腐蚀性气体和可凝蒸汽。 热交换类（气体动力学效应） 原理：基于气体热导率随压力变化的特性，如皮拉尼真空计通过加热丝电阻变化推断压力（测量范围：5×10⁻⁴~1000Pa）。 典型仪器：皮拉尼电阻规、热电偶规。 带电粒子效应类 原理：利用气体电离产生的电流与压力成正比的关系。 典型仪器：热阴极/冷阴极电离规（测量范围：10⁻⁵~10⁻¹⁴Pa）。 特点：高精度但易受污染，需避免油蒸气。
真空计用于测量真空度或低于大气压的稀薄气体的气压，是一种使用***的仪表。真空计的种类有很多，适用范围也各有不同。掌握常见的真空计种类有利于正确选择真空计类型。真空计可分为***真空计和相对真空计两大类。一、***真空计能从液柱高度、比重等本身测得的物理量直接计算出气体压力的真空计。***真空计测量精度较高，主要用作基准量具。原理：在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸气压的油、汞)。管的一端与待测压力的真空容器相连，另一端是封死的或开口与大气相通。根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。测量范围：粗真空(105～102帕)、低真空(102～10-1帕)2.压缩式真空计(麦克劳真空计)原理：把待测压强气体的一部分进行隔离并加以压缩，直到压强增大到可以直接测量的程度。 薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。
真空压力计有多种类型，包括但不限于以下几种：热传导真空压力计：利用气体热传导造成的某些结果（如热丝温度、电阻变化）来测量真空度。电离真空计：通过电子碰撞气体分子使之电离，用测得的离子流来反应压力。压缩式真空计：先将被测气体压缩以提高其压力，然后测量增高后的压力，再根据压缩比计算出原来的压力值。薄膜真空计：利用薄膜在真空压力作用下的变形来测量真空度，如电容式薄膜真空计。U型管真空计：使用历史**长、结构**简单的测量压力的仪器，通过U型管两端的液面差来指示真空度。数字式真空压力计：能够直接读取数字显示的压力值，操作便捷，且具有高精度和稳定性。要看真空计的安装方法、操作性能、保修、管理、市场有无销售、购买的难易程度和规格如何。如何选真空计推荐货源
没有任何一种真空计能测量如此宽的压力范围，因此总是用几种真空计分别管辖一定的区域。化工真空计技术参数
电阻真空计的原理与应用电阻真空计，作为热传导真空计的一种，其工作原理是利用测量真空中热丝的温度来间接获得真空度的大小。在低压环境下，气体的热传导特性与压强密切相关，因此，电阻真空计的关键在于如何准确测量温度参数并建立起电阻与压强的对应关系。该仪器的主要构成部分包括规管中的加热灯丝，通常采用电阻温度系数较高的钨丝或铂丝。电阻真空计通过测量热丝电阻变化来确定真空度，其结果依赖于气体种类且存在测量范围限制。测量范围通常在105～10-2Pa之间。化工真空计技术参数
