值得注意的是，由于它是一种相对真空计，所以其测量结果对气体种类具有一定的依赖性。其校准曲线通常针对干燥的氮气或空气进行标定。因此，在被测气体成分发生较大变化时，需要对测量结果进行相应的修正。此外，长时间使用后，热丝可能会因氧化而发生零点漂移，这要求我们在使用时避免长时间暴露于大气或高压强环境中，并可能需要通过调节电流来校准零点位置热偶真空计的规管构造主要包括加热灯丝C与D（通常采用铂丝）以及用于测量热丝温度的热电偶A与B（多采用铂铑或康铜-镍铬合金）尽可能扩展每一种方法的量程，是真空计科学研究的重要内容之一。国内真空计配件
电阻真空计的原理与应用电阻真空计，作为热传导真空计的一种，其工作原理是利用测量真空中热丝的温度来间接获得真空度的大小。在低压环境下，气体的热传导特性与压强密切相关，因此，电阻真空计的关键在于如何准确测量温度参数并建立起电阻与压强的对应关系。该仪器的主要构成部分包括规管中的加热灯丝，通常采用电阻温度系数较高的钨丝或铂丝。电阻真空计通过测量热丝电阻变化来确定真空度，其结果依赖于气体种类且存在测量范围限制。测量范围通常在105～10-2Pa之间。爱德克斯四合一真空计配件被测气体是否会损伤真空计；真空计可否会给被测气体状态带来影响。
工作原理播报编辑两种真空计在不同压强区间发挥测量作用：1.热偶真空计加热电流恒定状态下，热电偶电势与气体热传导系数呈正相关。当压强低于10Pa时气体导热系数随压强降低而减小，通过热电偶输出电势变化反映真空度。有效测量范围为100-0.1Pa [4]。2.热阴极电离真空计灯丝加热至2200K发射热电子，经150V栅极电压加速后与气体分子碰撞产生正离子。收集极在-25V偏压下捕获离子形成电流，该电流与气体压强成线性关系 [4]。典型工作范围为0.1-1×10⁻⁵Pa。设备通过动态切换机制实现量程衔接：当热偶计检测到压强低于10⁻¹Pa时，自动开启电离计 [1] [4]。ZDF-1A/B型具备1-99分钟可调延时切换功能，防止频繁启停损坏灯丝 [1]
热传导真空计是一种测量低真空的真空计，顾名思义，就是利用热量变化来测量真空的仪器。它的原理就是将一根金属丝通电加热，由于气体分子的运动会带走一部分热量，因此达到热平衡时温度越高，就说明气体导走的热量越少，气体分子密度越小，也就是压强越低，真空度越高。电离真空计是目前采用**广的真空计，是一种测量高真空的真空计，只有在真空抽到一定量级时才可以打开。它的工作原理为：具有足够能量的电子与气体分子碰撞，使气体分子电离，产生正离子和电子；电子在运动过程中与分子碰撞的次数正比于分子数密度，也即压强P，因此产生的正离子数就正比于压强P，可以通过测量正离子的多少来标定真空度的高低。薄膜真空计原理根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计。
冷阴极真空计（ColdCathodeGauge，如潘宁计）原理：基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极，外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子，电子在磁场中螺旋运动，增加与气体分子的碰撞概率，导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。特点：量程：通常为10−6Torr至10−3Torr，适合中高真空。优点：无加热元件，结构简单、寿命长。对振动不敏感（适合航天等恶劣环境）。局限性：低真空下响应慢（需足够残余气体维持放电）。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高（需校准）热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低（可忽略）冷阴极计（潘宁）高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。 没有任何一种真空计能测量如此宽的压力范围，因此总是用几种真空计分别管辖一定的区域。英思科真空计配件
随着真空技术的普及，大量应用于单晶炉设备，真空计满足光伏行业基础单晶硅生产。国内真空计配件
真空计是用于测量真空度的设备，其工作原理及测量范围对于了解真空技术至关重要。在真空镀膜机的腔体内，真空测量是指利用专门的仪器和装置来测定某一封闭空间内的真空度。这些仪器或装置被称为真空计（或规管），种类繁多，常见的分类方式是根据其测量原理。直接通过测定物理参数来获取气体压强的真空计被称为***真空计，例如U型压力计和压缩式真空计。***真空计测量气体压强较为准确，不受气体成分影响。而相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比来得出压强值，例如放电真空计、热传导真空计和电离真空计。相对真空计的测量准确度略逊于***真空计，且测量结果与气体种类相关。在实际生产中，除了真空校准外，相对真空计的应用更为***。 国内真空计配件
