南京晶圆级MEMS工艺检测能力

启朴芯微团队始终保持对光学传感技术的热情和专注，不断追求技术的突破和升级，提升产品质量和服务水平，以质量的产品和服务赢得客户的信任和支持。同时以更加开放的姿态和更加务实的行动，加强与高校、科研院所和企业的合作与交流，携手合作伙伴共同推动光学传感技术的研发和应用，为推动国内光学传感产业的自主可控和持续发展贡献力量。在产品方面，启朴芯微专注于自主研发像元级光谱和偏振超维光学滤波芯片及光学系统，通过定制开发、项目互补与公司直营相结合的方式，打造小型化、集成化的高分辨率特种光学相机模组和光学检测解决方案，切实满足客户对于高性能、高精度产品服务的需求，在工业视觉检测、影像医学器械、汽车超维视觉、环境与食品安全检测等领域具有广泛应用前景。启朴芯微，拥有先进的8英寸MEMS研发与微纳加工服务中试线，设备齐全！南京晶圆级MEMS工艺检测能力

宁波启朴芯微系统技术有限公司（以下简称“启朴芯微”）是一家专注于微机电系统（MEMS）技术研发与产业化的企业，成立于西北工业大学宁波研究院的孵化体系中，并在短时间内凭借技术创新与产业化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件设计、工艺开发及代工服务，拥有自主可控的8英寸MEMS工艺产线，兼容6/4英寸晶圆级加工，覆盖光刻、深硅刻蚀、薄膜沉积、晶圆键合、激光切割等工艺能力，为行业提供从结构设计到封装测试的全链条服务36。其技术团队在MEMS领域经验丰富，尤其在光学类与SOI（绝缘体上硅）特色工艺方面具备优势，例如通过原子层沉积（ALD）技术实现高精度薄膜制备，提升器件性能与可靠性。厦门流量传感器MEMS工艺检测项目合作在具备技术能力的基础上,启朴芯微持续助力广大客户的技术迭代与项目推进！

精耕细耘，以业为本。面对目前国内光学传感领域实际需求，宁波启朴芯微同样将展出由项目团队自主研发的小型高光谱相机产品。该系统以光功能芯片为中心，通过对连续的物体光谱采集,以获取反射、辐射光谱信息。多年以来技术团队持续攻关，将结构轻便、精细度高、材料强度高、可定制性等技术优势赋予光谱成像系统的研制工艺，形成了具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统，同时通过自主掌握MEMS晶圆级加工制造能力，实现集成芯片和模块化光谱成像相机的自主研制，可以为典型目标的探测识别提供了有力保障。

在MEMS智能制造与智能传感装备设计研究领域，宁波启朴芯微拥有一支由专业博士组成的精英团队，曾多次获得、省部级技术发明奖项，并参与国家标准制定，在微纳传感器件的设计、制造、应用领域经验丰富。自成立以来，本着“斫雕为朴，芯程再启”的宗旨，启朴芯微持续参与MEMS智能制造与智能传感装备的设计研究，已形成多项发明专利、实用新型专利，团队凭借深厚的学术背景和丰富的实践经验，不断攻克技术难关，推动公司产品和服务的持续升级，赢得了广大客户的信赖和支持。启朴芯微，全程掌握从业务签订、开单生产到暂存、发货等环节。

宁波启朴芯微拥有先进的8英寸MEMS研发与微纳加工服务中试线，实验区内设置有激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机、电子束蒸镀仪、键合机、湿法腐蚀系统、磁控溅射仪、原子层沉积设备、化学机械抛光机、自动涂胶显影系统等整套技术设备，配套百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室，可以全支持8英寸（兼容4/6英寸）晶圆级加工，生产过程中严格遵守企业内部生产定标准与客户方需求，遵循生产员与质检员登记对接制度，针对不同业务进度进行检验工作。在具备技术能力的基础上，启朴芯微持续助力广大客户的技术迭代与项目推进！芜湖传感器MEMS工艺检测

启朴芯微始终坚持以客户为中心的服务理念,遵循定制开发、项目互补、公司直营的运营模式。南京晶圆级MEMS工艺检测能力

启朴芯微团队在科技探索的道路上从未停歇，他们持续攻关，不断突破技术瓶颈。以光功能芯片为**的微小型光谱成像系统便是他们的杰出成果之一。这一系统犹如一双敏锐的“科技之眼”，通过连续的光谱采集，在镜头前端精细获取被检测对象反射的宽波长混合光。随后，分光元器件将这些混合光分散为不同频率的单波长光，并投射到面阵相机上。计算机程序则像一位智慧的“大脑”，对数据进行校准和处理，**终形成连续性、高分辨率的光谱图像数据。这一过程不仅反馈了空间信息，还包含了丰富的光谱信息，具有空间可识别性、超多波段、图谱合一等优点。在食品、药品、精细零部件等加工环境下，该系统能够保障品质安全，为行业发展提供了有力的技术支持。南京晶圆级MEMS工艺检测能力