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所述电液直线作动器10封装在一个密闭的充满液压油的弹性皮囊101内,活塞杆1015端部从弹性皮囊101中伸出;在伸出弹性皮囊101的活塞杆1015端部与弹性皮囊101连接处设置有伸缩套和密封环1013,密封环1013固定卡持在活塞杆1015的头部,伸缩套连接在密封环1013和弹性皮囊101之间。为了安装方便实际应用中把液压缸端盖1019上的作动器铰接孔1024从弹性皮囊101中裸露出来,在液压缸端盖1019与弹性皮囊101之间设置液压缸端盖与弹性皮囊密封圈1021。如图12到图13所示,球形泵活塞109具有球形顶面、两个成一定角度的侧面和在两侧面下部的半圆柱形活塞销座,所述活塞球形顶面与所述球形内腔具有相同的球心并形成密封动配合;在活塞球形顶面**凸出一活塞轴,活塞轴的轴线通过活塞球形顶面的球心;球形泵转盘107具有在其上部与活塞销座相对应的转盘销座,该球形泵转盘上部和下端面之间的外周面为转盘球面,转盘球面与所述球形内腔具有相同的球心并紧贴球形内腔形成密封动配合;所述转盘销座为与活塞销座相配的半圆柱凹槽,在球形泵转盘107的下端中心凸出一转盘轴,转盘轴通过转盘球面的球心;其中,转盘销座的半圆柱凹槽的高度略高于半圆柱的中心线。与伺服电机搭配使用时,行星减速电机可提升系统刚性,让机械臂的动作控制更jing准平稳。

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